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氽业名牌战略与微电机技术发展论坛
叠层型压电驱动器技术及其应用的研究
鄢珂，金龙，徐志科，胡敏强
(东南大学电气工程学院，江苏省南京市210096)
摘 要：叠层型压电陶瓷利用逆压电效应可以得到精确的微位移量，用作执行器。介绍了叠层
型压电驱动器的性能特性。并基于正交三角放大原理设计了一种微位移放大机构，使其将叠层
型压电微位移器的位移量放大，并对其进行性能实验。实验结果表明，驱动器各项指标均达到
设计要求，证明了设计理论的正确性。
关键词：压电驱动；压电叠层；位移放大
Researchon and ofPiezoelectricStackActuator
TechniqueApplication
YAN Zhi-ke，HU
Ke，JINLong，XU Min—qiang
Electrical ofSoutheast 21
(The EngineeringDepartment University，N肌jing，Jiangsu0096)
stackwasusedasallactuatorto a micro
ABSTRACT：Piezoelectric getprecisiondisplacement，using
introducedthecharacteristicsand of actua-
converse advantagespiezoelectric
piezoelectriceffect．Briefly
a mechanismwas basedonthe
tor喜construction。and
micro—displacementamplifying presented，which
was stack
of driven actuators．
principlesorthogonaltriangleamplification．Theamplifier bypiezoelectric
The was the mechanism．Thenthe
of actuators
displacement amplifiedby amplifying experi—
piezoelectric
mentand ofthecharacteristicsforthe werecarriedout．All achieved
design
analysis prototype parameters
inthe
andthe also itscorrectness
theory experimenL
design prove
KEY
WORDS：Piezoelectric
actuator；Piezoe
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