金属氮化物硬质膜层“合金化”的研究进展.pdfVIP

维普资讯 第29卷 第5期 沈 阳 工 业 大 学 学 报 Vo1．29 No．5 2007年 l0月 JournalofShenyangUniversityofTechnology Oct，2 007 文章编号 ：1000—1646(2007)05—0513—06 金属氮化物硬质膜层 “合金化的研究进展 宋贵宏，靳 伟，李 锋，陈立佳 (沈阳工业大学材料科学与工程学院，沈阳 110023) 摘 要：通过展示近年来国内外金属氮化物膜层的研究结果，探究了膜层晶体结构、微观组织的变 化规律和提高性能的途径：列举了大量文献进行分析．结果表明：添加 C或B元素，可形成 “替位 式”的金属氮碳化物或氮硼化物膜层，具有明显的固溶强化效应；大部分氮硼化物膜层，都可生成 细小的金属硼化物，对性能的提高非常有力；加入 si可以细化晶粒，提高膜层的韧性和耐磨性，在 TiN和CrN膜层中加入金属合金化元素(如 、zr等)，除具有明显的固溶强化效应外，还能显著提 高膜层的高温氧化阻力和腐蚀阻力，提高膜层的耐磨性．沉积膜层的显微组织结构 ，可以通过调整 “合金化”元素的比率来改变，并由此可以对膜层性能进行调制，通过 “合金化”，金属氮化物膜层的 晶体结构、微观组织都可以调制，综合性能显著改善和提高， 关 键 词：硬质膜层 ；氮碳化物；氮硼化物；多元金属氮化物；抗氧化性；耐磨性 中图分类号：TB43 文献标识码：A Developmentofalloyedmetalnitridehardcoating SONGGui—hong，JINWei，LIFeng，CHENLi—jia (SchoolofMaterialsScienceandEngineering，ShenyangUniversityofTechnology，Shenyang110023，China) Abstract： Recent development of metalnitride coatings was reviewed， I、he crystal Iattice and microstructureofdepositedcoatingsaswellasthemeasuretoimprovepropertieswereinvestigated．A large amountofreferenceswereanalyzed．TheadditionofeitherC orB elementtothebinarymetalnitride coatingsleadstotheformationofmetalcarbonitrideormetalcarboboridecoatings，whichhavetheobvious solidoslutionstrengtheningeffect．Forthemetalcarboboridecoatings，largeamountsoffinemetalborides form，which can greatly improvetheproperties．W ith addingSitothecoatings，thesizeofgrain is reduced，and both toughnessand wearresistancegetgreatly increased．Through adding such metal elementsasAI，ZrtoTiN orCrN，thehigh temperatureoxide-resistance，erosionresistanceandwear resistanceaswellastheeffectofoslidoslutions