强温室气体SF6、CF4、SF5CF3等离子体降解反应研究.pdfVIP

化 学 世 界 强温室气体SF6、CF4、SF。CF3等离子体降解反应研究 沈燕． 黄丽． 张仁熙．侯惠奇 (复旦大学环境科学研究所、复旦大学温室气体研究中心．上海200433) 关键词：等离子体；SFe；SF5CF3；CF‘；温室气体 随着全球变暖趋势的加剧，全球对温室气体的 统。定量分析由GCl02型气相色谱(上海分析仪器 越加关注。IPCC在2001年的报告中估计，至本世厂)进行。信号经自制电流放大器放大10倍后进入 纪末全球平均温度将上升5．8摄氏度‘u。除常见的 温室气体如二氧化碳等对全球变暖做出主要贡献 外光谱仪(美国Nicolet公司)进行分析。本实验采 mm 外，现在大气含量较少但却逐年递增的强温室气体 用的自制红外样品池由直径为38mm、长i00 如SF6、CF‘和SF5CF3等由于在红外波段的显著吸的玻璃管制成，两端用法兰和氟橡胶“O”型圈固定， 收，物化特性十分稳定而导致其大气中较长的寿命， NaCI单晶窗片，阀门采用无油活塞。 将逐渐在温室效应中做出较大贡献，对其相关研究 1．2实验步骤 备受关注∞】，尤其是2000年被报道的一种完全由人 以SF6为例，使用配气系统将反应气体和Ar、 类活动产生的温室气体SF。CF。[3]的出现，更加引起02、N。、空气充人自制反应器中，连接高压电源后放 了人们对温室气体控制技术研究的关注。 电，若干时间后连接气相色谱进样系统，通过六通阀 SF6、SF。CF3的全球增温潜势(Global进样后观察色谱出峰情况。峰对称性良好，简便起 Potential，简称GwP)值分别为22200， Warming 见以出峰的峰高表示SF。的分压。进行产物分析 17500[3](以100年内与C02的温室效应的比值)， 时，反应器通过T型接口与红外样品池相连，通过 而大气寿命则分别为3200和looo年；CF4虽然 真空系统使产物扩散至红外反应池，然后送入傅里 GWP值只有6500，但其寿命可达50，000年[‘]。因 叶红外光谱仪进行分析。．实验分析中定义D一 此，若不注意对它们的控制，由于它们巨大的温室效 兰塑≥×100％，其中，D为SF。的降解率 应和极长的大气寿命，将在不久的将来可能产生不 rSF60 可估量的影响、SF。被大量应用做高压绝缘气体； (％)，P吼。为SF。的初始分压(Pa)，P吼。为放电后 SF。CF。的源还不明，唯一可能的源是SF6在高压SF6分压(Pa)。 2实验结果与讨论 放电中产生[3．5]。’CF。则被广泛使用于半导体工业 和制铝工业中，尤其是现代微电子领域中的大量应 2．1 DBD等离子体降解SF6的反应研究 kPa 分别向含2．0 SF。的反应器中充入一定量 用使得其在1997年大气中含量已达74ppt[6]。因 min， 此，有关SF。、CF4和SF。CF。的降解技术的研究越的N。、O。、Ar及空气，混合均匀后分别放电5 来越引起重视。本文拟采用介质阻挡放电等离子体 观察不同外加气体量的变化对降解率的影响。放电 技术对这三种强温室气体的降解过程进行研究，探