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第二十五届中国(天津)201
1‘lT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议
区熔晶体自动生长的研究
靳立辉李立伟张雪囡
(天津环欧半导体材料技术有限公司 电话
摘要：自动化是产品的标准化和规模化生产的基础，晶体自动生长为区熔大直径单晶的生产奠定基础。本文采用直径法控
制区熔晶体自动生长，本方法设定生长区间和输入控制参数。当直径大于50ram时，开通控制程序，程序根据测量到的单晶直径
判断生长区间，调用该区间参数并计算，根据参数和计算值完成控制，一个区间生长完成后，程序进入下一个区间，直至进入
到等径生长阶段。采用本方法和系统，大幅提升区熔法大直径单晶的生产能力，减小区熔人为造成的失误及损失，降低区熔单
晶生长的人工劳动强度，可有效提高单晶的质量。
关键词：自动放肩PLC控制器区熔单晶
Researchonthe automatic
FZ(FloatZone)monocrystalgrowth
LihuiLiLiwei Xuenan
Jin Zhang
Huanou
semiconductormaterials
(Tianjin technologyCo．，LTD，Tel
isthebasisof ofFZ
Abstract：Automationstandardizationandmass technique
production，the
automaticisthebasisoftheFZ diameter articleintroducedamethodofthe
growth big monocrystal‘Sdevelopment．The
floatzone the
automatic measureddiameter．Themethod the intervalandcontrols
monocrystalgrowthby settinggrowth
Funs
the diameteris than controllertheautomaticcontrol
crystal 50mm，PLC
parameter，when greater program，the
the intervalthe to
measured usethe calculate．Baseonthe
programjudgedgrowth by diameter,and
parameters parameter
andvalueof controlsthe doesn’tfinishinthelastintervalandentersthenext
calculation，the machine；it
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