taC%3aN膜特殊光电导行为的研究.pdfVIP

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A.007 taC:N膜特殊光电导行为的研究 刘糠’,王厂甫6.汪正诗” “北摹师范走学他堂学院,北京,100875 Emad些』堂g!虹业垫幽 5北宣师蔗K学井祈剧州十k北京.100875) taC:N膜的电学性质虽然得到广泛的研究,但是由干制售条件和研究方,}的不同结论并不一致“。1.我 0 们曾经报道过谊膜在弱的光艇下(5 aC:N膜在 0pW/cm’)印有明显的光电导响应并且发现了N台量5at%曲t 光照下电阻反而增大这一特殊的光电导现象“1。 表1光照x:[taC:N膜电阻草的影响 翌÷坠堕!卿啦世、二型姆!掣x型里堕!量!j竖!一一 ‘!£型删坚I霉一…垒——旦 三 旦 E ! 里一』——L一一j N%fat%1 l 42 385 7 96 904 939 991 lO36 1401 sD‘“ 2407287438∞3927 348841044024 4397 4779 5308 1 8 Dark 3,671017838 5s26364l03 2759 12406 13985 28708 resistivi旷(Ohmcm) ll 64 60 697 24 6 1565 26I8 39 2233 1222650 LIghtedresistivityfOhmt:m1 ’Everyreported valuewastheofatleast20timesme鹳u陀mcntsmadeat ofthe resistivity average diffcmntpositions filmsinbothdirectionofculTcnt S 根据文献…采用的方法.对具有不同氰舍量的taC:N膜的clXFS谱的解析结果如嘲1所示,氯含量低时, 氪原子在膜中更接近于杂碌子在半导体中的掺杂行为。在Splc酌四面体结构中氪琢子有四个电子与周围c 成键.另一个电子将以游离电子的状态在膜中自由移动,这种彤式敌称作旷搏挚构型;或者N朦子也可能取 代石星型六元环中的一个sp。c原子,除了三个a电子和一个Ⅱ电子外,另一^_:ifⅡ‘上的电子依然可以游离 状态在膜内自由活砧.这种形式被称作n掺杂绚型. 有文献报导”’,taC:N膜中存在一种类似于毗啶的环状结构,它的电子能缎上克满了电子,此时的N已经 没有多余的单个自由电子可以游离干膜内,田此这种结构是一种非掺杂的拘型. 文献【8】中列出了掺氟的碳膜中几种可能的构型及它们的电子能级田(固2),从中可以很清楚地看到矿 掺杂、矿掺杂以及非掺杂构型中N的电子在能缓上分布的不同. at% C=N结梅不仅仅可以代表矿掺杂构型,同时也可能是粪毗啶结构的非掺杂构型.在膜内N难度从8 7 增加到1 at%的过程中。膜内发生着r掺杂构型 向类毗啶结构的非掺杂构型的转变,N辣子数量 增多了,而其能够影响到的sp7c原子却减少T 从而使得sp2c州键型的含量基本不变.当腓大干 17&t%以后 此时的峰N主要是阻类毗啶的非掺 杂构型存在的,田1显示氪原子在膜中将更多地

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