硅微谐振式加速度计实现及性能测试.pdfVIP

第 18卷 第 l2期 光学 精密工程 Vol|18 NO．12 2010年 12月 OpticsandPrecisionEngineering Dec．2O1O 文章编 号 1004—924X(2010)12-2583—07 硅微谐振式加速度计的实现及性能测试 石 然，裘安萍，苏 岩 (南京理工大学MEMS惯性技术研究中心，江苏 南京210094) 摘要 ：为 了提高硅微谐振式加速度计性能 ，从一种基 于 DDSOG(DeepDrySilicononGlass)工 艺的硅微谐 振式加速度计 样机人手 ，介绍 了加速度计的结构 、加工方法和接 口电路 。该谐振式加速度计结构包括敏感质量块 、谐振器和微杠杆 3 部分，采用差动结构来减小共模误差 的影 响。接 口电路 中采用 了自动增益控制电路来稳定谐振器的振 幅，成功实现 了谐 振器 的闭环 自激振荡和频率检测 。分析了谐振式加速度计频率输 出与加速度输人 的关系，测试 了硅微谐振式加速度计 样机性能，结果为量程±50g，标度因数 143Hz／g，零偏稳定性 1．2mg，零偏重复性 0．88mg，阈值 170 g。文章最后提 出 ，DDSOG工艺中采用的玻璃 材料 和硅 材料 温度 系数不 同，影响 了加速度计 的温度特 性 ，因此需要进 步一改进 加工工 艺 。 关 键 词 ：硅 微谐振 式加速 度计 ；谐振 器 ；差动 结构 ；DDS()G 中图分类号 ：TH824．4 文献标 识码 ：A doi：10．3788／OPE2583 Implementationandexperim entsofmicromechanical differentialsilicon resonantaccelerometer SHIRan，QIU An—ping，SU Yan (MEMSInertialTechnologyResearchCenter，NanjingUniversityof ScienceandTechnology，Nanjing210094，China) Abstract：ToimprovetheperformanceofMEM Saccelerometers，am icromechanicalSilicon Resonant Accelerometer(SRA)prototypefabricatedbyDeepDrySilicononGlass(DDSOG)processwasintro— duced，andsomeexperimentsfortheaccelerometerwereperformed．Thestructure，processingmeth— odsandtheinterfacecircuitofSRA werediscribedin detail．TheSRA adoptedthedifferentialstrue— turecomposedoftWOidenticalresonatorstoeliminatecommonmodeerrors，andusedthemicrolever mechanism tomagnifythescalefactor．AninterfacecircuitusingtheAutomaticGainControl(AGC) circuitwasdesigned to maintain theoscillatorstability，which could drivetheresonatorto achieve self_oscil1ationandtodetectthefrequencyoutput．Therelation betweeninputacceleration andSRA frequencyoutputwasresearchedandtheperformanceparametersoftheprototyperesonantacceleram— eterweretested．Thetestresultssh