光生酸剂产酸效率评价方法的研究.pdfVIP

2005年中国科协学术年会论文集 光生酸剂产酸效率评价方法的研究 王健张伟民王文广 蒲嘉陵 (北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室，北京，102600) 摘要：本研究刹用罗丹明B在酸作用下异构变色的特性，采用分光光度法系统地考察了罗丹明B 对在不同酸种、酸浓度以及溶剂体系的变色特性，并对光生酸剂在有机溶剂中的产酸效率及其评价 方法进行了系统的研究，考察了溶剂、光生酸剂浓度以及曝光条件对光生酸剂的分解和产酸量子产 率的影响。研究结果表明，本研究采用的方法在实验范围内能够很好地对光生酸剂的产酸量和产酸 量子效率进行定量的评价，光生酸剂的分解和产酸效率对其所处的环境(不同的溶剂)表现出很强 的依赖性，且光生酸剂的分解产率与产酸率相等，但与其在溶液中的浓度基本没有关系。 关键词：量子产率光生酸剂分光光度法产酸效率 光生酸剂作为成像介质广泛应用于光刻胶成像体系，其成像过程利用光生酸剂光解生产的酸对 特定高分子树脂的催化作用，导致曝光区域发生酸解化学变化，与未曝光区域形成溶解、亲和性能 的差异，在显影处理后形成影像。如果在体系中加入酸增殖剂，还可以得到更大的产酸效率(超过 100％)，从而获得高感光度的成像材料体系。正是由于光生酸体系的光致抗蚀剂具有很好的化学增 幅效应，在微电子工业、微刻技术以及规模集成电路制造等领域得到广泛应用ll圳。 光产酸源的性质对于光生酸体系的成像性能有着重要的影响，因此如何定量评价光生酸剂的产 酸效率成为光生酸剂以及相关材料体系开发研究的关键17。8J。本研究利用罗丹明B【5。61在酸存在条件下 的异构变色的特点，采用分光光度测量的方法，构筑了一种光生酸剂在溶液中产酸的量子产率的评 价方法，并通过改变不同的条件来确定光生酸剂的最佳产酸条件，并考察不同条件对光生酸剂产酸 效率的影响。 一、光生酸剂产酸效率方法的确定 (一)标准工作曲线的确定 以罗丹明B作为酸敏染料，按照一定的浓度溶解于适当的溶剂中(如，乙腈溶剂)，然后加入浓 度经过标定的酸液(如，三氟甲磺酸)与其反应。通过紫外．可见光分光光度计测定反应后的罗丹明 B特征峰吸光度的变化，绘制以酸的浓度为横坐标，以吸光度的变化为横坐标的酸浓度～ABS曲线， 即所谓的标准：I=作曲线。 (二)光生酸剂光分解效率的评价 将光生酸剂(rAG)溶解在乙腈和四氢呋喃中，配制成溶液，将配制好的溶液在高压汞灯下曝光， 以曝光时间为横坐标，做出PAG的光分解动力曲线。 根据曝光动力曲线，可以定量求出PAG的光分解产率，计算公式可由公式一表示： ． 厦应物盆王澄去数目 (1) 。 吸收光子数目 12 2005年中国科协学术年会论文集 其中： 反应物分子消失数目=ACxVxNA (2) 式中AC为PAG的摩尔浓度变化；V为曝光容器的体积；NA为阿佛加德罗常数。根据比尔·兰伯特 (Lambert-Beer)定律： A A Abs-￡xLxC (3) 式中△A为吸光度的变化值；￡为摩尔消光系数：L为PAG溶液的光路长。 u 吸收光子数=Ix(I-e。AB3)xSxt／h (4) 式中，I为入射光强、S为PAG溶液的受光面积、t为曝光时间、hu为光子的能量。综合(1)、(2)、 (3)、(4)四式，得到公式(5) 分解量子产率舻静嫠趟紫 (5) (三)光生酸剂光产酸效率的评价 将光生酸剂与罗丹明B溶于有机溶剂，配制成溶液，在配有干涉滤色片的高压汞灯下曝光(曝 下罗丹明B的吸光度变化△ABS。以标准工作曲线为参比，根据△ABS即可得到对应的酸的浓度△ C和分子数AC*V，最后通过公式(6)计算可以得到PAG在溶液中的产酸效率。 m，：①k 垒里：∑