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硕士学位论文 基于衍射光栅的高速高分辨力位移 测量系统研究 RESEARCH OF HIGH-RESOLUTION DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM BASED ON DIFFRACTIVE GRATING 徐敏儿 2013年6月 国内图书分类号： 学校代码：10213 国际图书分类号： 密级：公开 基于衍射光栅的高分辨力位移 测量系统研究 硕士研究生：徐敏儿 导师：王雷副教授 申请学位：工学硕士 学科：仪器科学与技术 所在单位：电气工程及自动化学院 答辩日期：2013年6月 授予学位单位：哈尔滨工业大学 Classified Index: TH741 U.D.C.: 681 Dissertation for the Master Degree in Engineering RESEARCH OF AND HIGH-RESOLUTION DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM BASED ON DIFFRACTIVE GRATING Candidate： Supervisor： Prof. Academic Degree Applied for： Master of Enginee