李亚琼 工业硅歧化提纯除硼过程热力学的研究.pptVIP

工业硅歧化提纯除硼过程的热力学分析 李亚琼，谭毅，李佳艳，武深瑞，刘瑶 大连理工大学 Email: liyaqiong2007@ 内容 1. 背景 2. 热力学分析 3. 工业硅歧化提纯工艺的原则流程 4. 结论 1. 背景 能源 危机 环境 污染 清洁 能源 太阳能 1.化学法：改良西门子法；硅烷法；等等 2.冶金法：定向凝固；载能束冶金提纯；真空熔炼；酸洗；造渣； 合金化分凝提纯，等等 硅太阳能电池的主要材料——多晶硅的制备方法 高效、低成本的工业硅提纯工艺 根据硼的饱和蒸气压较低的特性 新的工业硅提纯工艺 高纯SiO2+ MG-Si 真空熔炼 气相冷凝 硼杂质 残渣 SiO 高纯Si 歧化反应 高纯SiO2 1200-1800 K 吉布斯自由能变化和平衡分压：二氧化硅与硅，二氧化硅与硼 1.分析杂质硼的热力学过程，探讨将杂质硼抑制在残渣中的可行性 2.为冶金法提纯工业硅的工艺研发提供参考 热 力 学 2. 热力学分析 2.1. 体系的相关反应 MG-Si+ SiO2 SiO (BO、BO2、B2O、B2O2、B2O3) 真空熔炼 气相冷凝 编号 相关反应 温度范围(K)