造渣精炼去除多晶硅中B杂质的研究-功能材料.docVIP

造渣精炼去除多晶硅中B杂质的研究* 张磊1,2,谭毅1,2*,许富民1,2,李佳艳1,2 (大连理工大学 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 大连 116024 大连理工大学大连 116024 摘 要： 太阳能电池用多晶硅材料对B杂质含量有着严格的要求，而B杂质通过定向凝固、真空熔炼等方法很难有效去除，采用造渣精炼的方式可以有效地去除多晶硅中的B杂质，本文对造渣精炼除B的原理、影响因素及发展现状进行了综述，对已有研究结果进行了总结，为进一步研究提供理论依据。 关键词： 太阳能级多晶硅；造渣精炼；提纯 中图分类号：TF89 文献标识码：A 1 引 言 硼是影响太阳能电池性能的最主要杂质之一，太阳能级多晶硅对B杂质含量的要求是低于0.3ppm，过量的B会导致光致衰减，从而影响电池的转换效率[1]。而另一方面，B又是在整个多晶硅提纯过程中最难去除的杂质，由于B的分凝系数大（为0.8），饱和蒸汽压低（1823K时，为6.78×10-7Pa），因此，传统的定向凝固和真空熔炼方法都无法有效地将其去除[2-5]。探索出一条去除B杂质的有效途径已经成为冶金法提纯多晶硅的热点之一。 高温等离子体是一种有效去除B的方法[6-8]，利用等离子态有效元素与B发生反应，B以挥发性气体形式排出。该方法除B效果可以达到太阳能级多晶硅的要求，但工艺复杂，成本高，而且由