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纳米晶柱的激光分子束外延自组织生长研究1 贺永宁2朱长纯张景文刘效增徐庆安杨晓东 西安交通大学电信学院电子系，710049 摘要：本文用金纳米薄膜作为催化剂，在硅基片上利用激光分子束外延工艺自组织生长了ZnO纳米晶柱． 根据样品的形貌和成分分析结果，并对僻化剂厚度和所生长纳米晶柱的尺度关系进行了分析研究．认为在 金纳米薄膜催化剂辅助下。 ZnO纳米晶柱阵列按照“气一液一固”生长机制生长而成． 爻键词：氧化锌纳米晶柱，“气一液一周”生长机制，激光分子束外延 The ofZn0 column study Nanocrystalarrays ontheSisubstratebVL．MBE Self-organizedgrown Yong—ningHe，Chang-ehun Zhu，Jing·wenZhang，Xiao-zengLiu，Qing—anXu，Xiao-dong