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第十五届全圈化合物半导体、傲波器件和光电器件掌术寺议 广州’08
太赫兹量子级联激光器及其物理研究(邀请报告)
曹俊诚，黎华，谭智勇，韩英军，郭旭光，朱福英，吕京涛，王长，
伍滨和，封松林
(中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室，上海市长宁路865号，200050)
摘要：太赫兹(THz)量了级联激光嚣(0CL)为固态半导体器件，具有能阜转换效率高、体积小、轻便和易集成等优点．已成
为THz技术领域的研究热点之一。THz OCL
0eL近年来有了迅速的发展，有望在THz通信领域得到应用。本文报道了我们在THz
的Monte-Carlo模拟、异质结构材料生长、器件I：艺和器件测试等方血的研究结果。
关键词： 太赫兹，半导体量子级联激光器，蒙特卡罗模拟
TerahertzOuantumCascadeLasers：Si mul ati i aI
on，MaterGrowth，
i on
Fabrcati andCharacteri zati on
J．C．Cao，H．Li，Z．YTan，YJ．Han，X．GGuo，F．Y
Zhu，J．T．Ln，C．Wang，B．H．Wu，S．L．Feng
State Institute and
KeyLaboratoryofFunctionalMaterialsfo，lnformatics，ShanghaiofMicrosystemInformationTechnology,
Chinese 200050,China
AcademyofSciences,865ChangningRoad,Shanghai
Abstract：Terahertzcascade andcoherentsoBrceandhas
quantum laser(THzQCL)is many wallplug
compact advantages，such舔high
to andso have a andshowa
efficiency,easyintegrationon．Recently,THzQCLs experiencedsignificantimprovementprospective
incommunication．Inthis we theresultsaboutMonteCarlo
application paperreported simulation，materialgrowth，devicefabrication，
characterizationofTHz
QCLs．
cascade Carlosimulation
Keywords：terahertz，semiconductorquantumlasers，Monte
域的研究热点。
1引言
本文主要报道了THzQCL的蒙特卡洛
(Monte
随着半导体薄膜生长技术的进步，精确 Carlo)模拟、材料的分子束外延生
控制生长纳米级厚度的半导体薄膜已经成为 长、器件工艺以及测试等结果。
了现实。这就为基于多量子阱级联结构的量
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