超精密加工的動向和思考.docVIP

超精密加工的動向和思考 2007年02月27日 超精密加工經過數十年的努力，日趨成熟，不論是超精密機床、金剛石工具，還是超精密加工工藝已形成了一整套完整的超精密製造技術系統，為推動機械製造向更高層次發展奠定了基礎，現在正在向奈米級精度或毫微米精度邁進，其前景十分令人鼓舞。但是從另一個角度來分析，隨著科技的發展，對它的要求越來越高，而現實的情況又受到技術水準的制約，依然存在許多困難。 1 綜述 超精密加工技術是一門綜合性的系統工程，它的發展綜合地利用了機床、工具、計量、環境技術、微電子技術、電腦技術、數控技術等的進步。日本的津和秀夫教授形象地將超精密加工比作富士山的山頂，所以在某種意義上說，已到達了精密加工的頂峰。日本的文獻上，經常出現向極限靠近的提法。雖然從技術的角度來說，有些模糊，但是很形象化。實際上，加工精度在現有的水準上再提高一步已是相當困難。以現在的產品而言，凡是要求高的尺寸，大部分是超越現有標準的，這從另一個側面反映了超精密的實際情況，相當多的要求，均以技術條件的形式來表示，或標明具體的特殊公差，而今天除了精度以外，對表面還提出了新的要求——表面完整性。日本谷口紀男教授往往將超精密加工技術與微細加工綜合在一起來加以介紹，客觀上反映了兩種技術的交叉，也體現了時代的特徵。本文想就超精密加工發展的趨勢，說明一些個人的看法。 超精密加工技術隨著時間的推延，精