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椭偏法测薄厚度和折射率 甄聪棉 基本思想 椭偏法测量薄膜厚度和折射率的基本思想：用一束单色椭圆偏振光投射到薄膜表面，反射光的椭偏状态与薄膜厚度和折射率有关。设法测出反射前后椭偏光状态的变化，就可以求出薄膜的厚度和折射率。 原 理 当光线 由 进入时，入射角为 ，则折射角为 ， * n1 n2 p p p s 光在两种介质面上的反射和折射 光在不同介质的分界面上所发生的现象, 可借助于两个特定的线偏振光（ P波和S波）进行分析 r和t分别表示反射系数和透射系数，用 分别表示入射光、反射光和透射光的振幅,依透射系数的定义则有反射系数和： （1） 将（1）式分解到P与S两分量上 （2） 反射系数与透射系数分别用 和 表示 （3） （2）式与（3）式相比： （4） 从空气（折射率为 ）入射到单层膜系（由折射率为 的衬底和折射率为 、厚度为 的薄膜构成的系统）的情况 光波在单层介膜中传播 入射光的振幅为 ，设它为1。 条光的振幅为 每相邻两条光之间的位相差为： 为总的反射光的振幅，它应是（1）、（2）、（3）…… 条光叠加的结果，即： ……= 总的反射系数为R，根据反射系数的定义： （5） 由此看来，光在单层膜上的总反射系数可视为光在一等效界面上的反射系数，如果把它沿P和S分量分解（6）式便可写成 本实验是通过反射系数比(G)来测出反射前后光的 偏振状态的变化，这里 G= 与 是复数，所以可用它的模数和一个相因子 表示出来，即 （6） （7） （8） 不难看出，反射系数比中的参量 有关。如果 、 、 和 都是已知的 ，此时给一个 值便对应一组确定的 的值，当 确定后，又每一个 ，便 、 、 和 可得到一组相应的 和 的值，可分别作出 ― 曲线 90 70 50 30 10 0 40 120 200 280 360 2.0 1.6 1.45 关系曲线 - *