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电子能谱学 第9讲 俄歇电子能谱的应用 俄歇电子能谱的应用 朱永法 清华大学化学系 2005.11.21 34 Port:20 User :lesson pass:lesson 俄歇电子能谱提供的信息 俄歇电子能谱提供的信息 • 表面吸附、脱附以及 • 固体表面的能带结构、 表面化学反应; 态密度,电子态; • 材料组分的确定,纯 • 表面的物理化学性质 度的检测,材料特别 变化 是薄膜材料的生长 • 元素组成,含量,化学 等; 价态,深度分布,微区 • 电子器件的失效分 分析等信息 析,材料的腐蚀等; 清华大学化学系材料与表面实验室 2 俄歇电子能谱的应用 俄歇电子能谱的应用 • 表面清洁 • 摩擦润滑 • 表面吸附和反应 • 失效分析 • 表面扩散 • 电子材料 • 薄膜厚度 • 核材料 • 界面扩散和结构 • 催化剂 • 表面偏析 • 纳米材料研究 清华大学化学系材料与表面实验室 3 Auger Applications Semiconductor Devices Defect particles Etch residue Shorting problems Contact contamination Magnetic Storage Media Interdiffusion Layer identification Abnormal growth Display Devices Surface particles Cleaning residue Defect particles Interdiffusion of layers BGA, packaging problems Etch residue Pinhole defects

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