传感与控制-光纤表面等离子体共振传感检测系统共振波长的红移.pdfVIP

第 37卷第 1O期 光 子 学 报 VoI_37No．10 2008年 1O月 ACTA PHOTONICA SIN ICA ‘ October2008 光纤表面等离子体共振传感检测系统 共振波长的红移* 曹振新 ，夏继江 (1东南大学 毫米波 国家重点实验室，南京 210096) (2中电科技宝军无线 电厂，江苏 扬州 225003) 摘 要：介绍 了光纤表面等离子体共振传感器的制造工艺和系统钮成 ，针对光纤传感检测系统在一 定的条件下进行 了多次测试 ，试验表明该系统在测试过程中存在红移现象．分析 了发生红移的主要 原 因是金属薄膜 内部和表层吸附了空气中的杂质．为此提 出了改进镀膜_Y-艺、测试条件和建立修正 数据库 已有效地减弱 了系统测试 中的红移现象． 关键词：光谱分析 ；表面等离子体 ；共振波长；红移 ；吸附 中图分类号 ：O43 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004—4213(2008)t0—1997—4 0 引言 段具有较大的损耗．外层膜采用 Au，主要是 因为其 具有很好的稳定性． 2O世纪 60年代末 出现了基于表面等离子体共 表 1 光纤参量 振 (SurfacePlasmonResonance，SPR)技术 的棱镜 名称 说 明 传感器l1]，8o年代已经被广泛用于生化 、医学、环保 纤 芯材料 等多个领域 [2j．90年代初 出现 了基于 SPR技术 的 纤芯折射率 纤芯直径 光纤传感器l[]，同棱镜传感器相 比，它体积小、响应 裸露纤芯长度 快 、成本低 ，可以实现在线实时检测 ，有着更大 的研 表 2 膜层参量 究前景和经济价值．对于一个测试系统 ，通常要求其 名称 说明 在一定条件下具有很好的一致性．然而 ，实验发现基 英 0 肌 m Ta2O5 内层膜材料 于光纤 SPR传感器 的检测系统在确定 的实验条件 内层膜厚度 4 nm 下 ，针对同一种物质进行检测时共振波长存在严重的 外层膜材料 Au 外层膜厚度 51nm 红移现象 ，这不利于光纤SPR检测系统应用的推广． 3)镀膜工艺．采用真空镀膜机进行镀膜．一般情 本文介绍 了光纤 SPR传感器 的制造工艺和整 个检测系统 ，然后在一定 的条件下针对 同一种物质 况下，真空镀膜机 内部具有一个水平转动机构 ，用以 保证基片表面镀层的均匀．但是 ，光纤纤芯是一个 圆 进行 了多次检测获得了数据 ，进一步分析了数据不一