低温等离子体流动的非平衡模型及其在自由弧燃烧中的数值应用.pdfVIP

LHD 2013年度夏季学术研讨会  低温等离子体流动的非平衡模型及其在自由弧 燃烧中的数值应用 1 2 1 杨弼杰 , 周宁 , 孙泉华 （1 中国科学院力学研究所高温气体动力学国家重点实验室，北京海淀区 100190） （2 中微半导体设备（上海）有限公司，上海浦东区 201201 ） 摘要 低温等离子技术在集成电路的生产和电推进中发挥着不可替代的作用。此外，低温等离子体流 动耦合了传热，电化学反应，电磁效应等多物理过程。研究低温等离子体流动、放电特性，不仅具 有广阔的工业应用前景，同时具有较高的科研价值。本文主要分为两个部分，首先从 Boltzmann 方程 出发，推导出非平衡低温等离子体流动的守恒方程，从物理上揭示低温等离子体流动过程中的影响 因素。这些方程包括电子和重粒子的能量守恒方程、每种化学组分的输运方程以及与 N-S 方程耦合 的Maxwell 方程组。其次，本文基于 SIMPLEC 算法，利用推导的模型方程模拟了氩气(Ar)在一个大 气压下的三维自由弧燃烧。研究表明，与热力学平衡的计算结果相比，电子和重粒子在中心弧柱区 接近热力学平衡态，但而随着位置越来越靠近电极，热非平衡效应逐渐显著。这一结论同发射光谱 的实验结果吻合较好。 关键词 低温等离子体 CFD 直流电弧 热非平衡 化学非平衡 引 言 及建立碰撞模型的方法，得到宏观方程组 [5,6,7]。但是，完整的描述低温等离子体，需要 低温等离子体技术广泛应用于半导体制 考虑丰富的物理现象。据笔者所知，目前为止， 造、航空航天等领域。在半导体制造业中，该 还没有一个模型，完全从动理论出发，能够完 技术常被用于材料表面的刻蚀和物质的气相沉 整的描述上面提到的所有问题。 积 [1,2] 。而在航空航天领域，已经发展出多种 在非平衡大气压直流电弧数值模拟方面， 电推进技术[3, 4]。相对于普通以化学燃料作为 国外研究人员起步较早，上世纪 80 年代初，就 推进剂的发动机，电推进发动机具有结构简单， 已涌现出一批重要成果。Hsu 和 Pfender 首先给 比冲大的优势。目前，以电弧发动机( arcjet)为 出了二维轴对称自由弧的双温度模拟结果[8]。 代表的电推进发动机已经成功应用于地球同步 Haidar 在 Hsu 的基础上，考虑了电子和离子的 卫星的位置保持任务。 碰撞，进一步完善了原有的模型[9]。Freton 等 然而，低温等离子体流动本身蕴含着丰富 人比较了前人所使用的能量方程，通过计算结 的物理现象，其耦合了传热，电化学反应，电 果的对比指明其优劣[10]。但是，这些计算都是 磁效应等多物理过程，加之压力、温度等状态 通过求解 Sah