基于FPGA等离子体参数自动诊断系统.pdfVIP

基于FPGA 的等离子体参数自动诊断系统1 史磊，陈俊芳，符斯列，杨春林, 赖秀琼，黄孟祥，张洪滨 华南师范大学物理与电信工程学院，广州 （510006 ） E-mail ：avi998@163.com 摘 要：本文提出了一种基于FPGA 的等离子体静电探针自动检测系统的总体设计方案及其 硬件实现方法。该系统的外围接口电路采用微伏放大模块和隔离放大模块，提高了信号采集 的精度，并有效克服了各种干扰。信号的采集与处理通过Verilog HDL 语言描述，并在Cyclone 系列可编程逻辑器件FPGA 上实现，提高了等离子体静电探针参数诊断的效率。得到了放电 气压0.25Pa、射频13.56MHz、功率200W 条件下石英管内的空气等离子体密度和电子温度。 关键词：等离子体源；FPGA ；静电探针；自动诊断 中图分类号：TP216 文献标识码：B 1. 引言 [1] 等离子体与材料的相互作用的研究已经发展成为当前国际上重要而活跃得研究领域 。 其应用与研究的领域在不断的拓展，研究开发的层次在不断的提高[2] 。与其紧密相连的测控 技术在不断的提高。 [3] 已经报道了多种诊断等离子体的方法 ,其中对荷电粒子的测量的最基本、最重要的方 法是朗谬尔探针( 或称静电探针, Langmuirelect ro static probe) [3] 。它的优点是设备简单，还 可以测量等离子体的分布参数。用探针法诊断等离子体的关键步骤是获取探针的伏安特性曲 线，在大多数场合下用手工逐点读取电压电流值不容易反映被测等离子体的实际状态。由于 探针在等离子体中极易受到污染，推测过程需要在较短时间内完成，因此，实用的诊断设备 必须能在短时间内检测到探针的动态特性曲线[4] 。 而现场可编程门阵列[5]( FPGA) 具有集成度高、多功能、低功耗、可靠性高、可在线修 改,可以很好地解决上述问题。本论文设计研究了一种基于FPGA 的等离子体参数自动诊断系 统的具体实现方法。 2. 自动诊断系统工作原理 图1 为等离子体静电探针自动诊断系统的原理方框图。整个系统是以FPGA 为核心对数 据进行采集、处理并对整个电路的逻辑进行控制。 整个系统的工作原理如下：FPGA 芯片编程并通过D/A 转换产生一个-5V 到+5V 的步进 电压，经隔离放大后在探针上产生-50V 到+50V 的工作电压，同时电荷放大器对探针测得的 微弱信号进行放大，再经隔离放大，通过A/D 转换器送入FPGA ，再通过RS-232 串行通信 接口送入计算机通过软件计算处理实现等离子体的自动诊断。 1本课题得到教育部高等学校博士学科点专项科研项目[20040574008]、国家自然科学基金项目和 广东省自然科学基金重点项目的资助。 - 1 - 图1 检测系统结构框图 3. 系统实现 3.1 FPGA 实现 FPGA 的应用，不仅简化了系统控制逻辑电路的硬件设计，还使数字逻辑电路的设计更 加灵活，使整个系统设计的修改和升级更加方便快捷[5] 。本系统选用的是Alter 公司的FPGA 芯片EP1C3T144C8，该芯片速度高、价位低，其工作电压、IO 端口、逻辑门均满足设计需 要。整个设计在Quartus Ⅱ结合硬件描述语言（Verilog HDL ）和图形输入两种方法完成。 本设计中，FPGA 主要完成数据采集、存储的设计，与数据采集相关的控制电路的设计。 整个FPGA 内部电路设计框图如图2，主要包括：计数模块，数据暂存的FIFO 存储器，数 据采集采集启动、停止和切换读写的控制电路。