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31 5 中 国 稀 土 学 报 20 13 10 第 卷 第 期 年 月 Vol. 31 No. 5 JOUＲNAL OF THE CHINESE SOCIETY OF ＲAＲE EAＲTHS Oct. 20 13 涂层导体 CeO2 过渡层的稳定性研究 * ， ， 王书明 张 华 杨 坚 ( ， 100088) 北京有色金属研究总院分析测试中心 北京 : CeO ， CeO ， YBCO CeO 摘要 采用反应溅射法制备涂层导体用 2 过渡层 重点对不同水分压下制备的 2 种子层 以及 超导层沉积过程中 2 帽子层 。 X ， 。 ， CeO ， 的稳定性进行了分析 采用 射线分析相组成变化以及晶体取向 通过扫描电镜观察表面形貌 结果表明 水分压对 2 生长影响较大 水 CeO (0 ＜ x ＜ 0 ． 5) 。 CeO ， ， 分压太小会导致缺氧相 2 － x 生成 虽然后续富氧退火处理能转变成 2 但由于体积变化会萌生裂纹 其薄膜完整性受到破 。 ， YBCO CeO YBCO BaCeO ， YBCO 。 坏 另外 高温的 生长工艺亦会引起 2 帽子层与 反应生成 3 对后续的 晶体取向和超导性能产生不利影响 :CeO ; ; ; 关键词 2 缺氧相 水分压 稳定性 中图分类号:TM26 ;TB43 文献标识码:A 文章编号:1000 － 4343 (2013)05 － 0621 － 06 YBa Cu O (YBCO) ， 2 3 7 － x 超导材料具有高的不可 能可逆反应形成多种复杂氧化物 降低其在涂层 ［9 ，10］ ， ， 。 逆场 更适合在高温高场下使用 且在超导强电领 导体制备中的稳定性 ， YBCO NiW 域有着更广阔的应用前景 因此以 为基础 本文着重研究不同反应气氛下在 基带上 ( ) CeO ， 的第二代高温超导带材 又称涂层导体 已成为国 制备的 2 种子层的相结构的稳定性 以及沉积 内外超导研究的热点［1，2］。 YBCO 超导层过程中CeO2 帽子层的稳定性。 由于YBCO 特殊的物理冶金特性和严重的晶 ［3］