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2017-08-30 发布于安徽
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BaTiO3薄膜制备与结构的研究.pdf

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_ ：= = = 维普资讯《 I l 8 0 ·I—fJ 6 第5卷第4期薄腹科学与技术 Iq口由112日 THIN 兀 LM Sa m CE AND TECHNOLOGY BaTiO3薄膜的制备与结构研究王培英刘梅冬’吴国安铙韫华 O 斗 ·1 r — — — 一 — — — 一 (毕中理工大学) 1991年 I1月4日收到擅要用溶胶一凝肢 (sol-ge1)方法制备得到杖酸颔铁电膜．利用缸外光谱、扫描电钝、x射战衍射厦反射高能电子衍射分析了膜的蛄柏与工艺条件的关暮．实验发现溶液难度、热处理温度丑基片种类时膜蛄构有重要影响．在 si片和石英盛璃上劓备出多晶BaTiO，薄膜，而在 MgO、srTiOl单晶基片上能剐备出择优取旬膜，在 SrTiO|(100)基片上幸4备出了异质外延 BaTiO|秩电膜．铡试 BaTiO|薄膜的电性毙得到鹌余电枉化强度妁4c／em，矫顽曲强 25kV／唧，电阻半为】0n-cm，击穿曲强为 10o0kV／锄．．关键词：铁电膜，钍蠢塑，溶肢一靛肢 (so卜童d)，异质外延一、引言铁电材料及器件的应用已得到国内外广泛而深入的研究．BaTiO (BT)、 PbTiO3(PT)．Pb(Zr，Ti)O，(PZT)．(Pb，La)Tj0 (PLT)、K(Ta，Nb)O3(KTN)等薄膜材料具有优异的压电介电、热释电、铁皂性能．美、日、西欧等国的科学工作者分别利用上述特性，研究了永久性铁屯存储器 “】，制备了高灵敏度热释电红外探测器 0 ，制作了高速、低驱动电压的光开关和光调制器，声表面波滤波器 0 ．薄膜的制备方法有很多，主要有射频磁拉溅射，溶胶一凝胶 (sol-ge1)，化学气相沉积等．国外在过去几年中大量报导了铁电膜的制备技术，目前更多报导了制备高度取向膜和外延膜．已知的有在 MgO(100)与 SrTiO，(100)基片上制备 PT外延膜，在蓝宝石 (0001) 基片上制备 (oo1)PT、PLT、PZT外延膜 ”．在 MgO(|00)基片上先沉积 (1OO)Pt外延膜，再沉积 c轴取向的P【T‘膜．1989年报导MgO000)与StTiO00O)基片上生长异质外延、钛酸钡和钛酸锶铁电膜．以上诸类外延膜均用溅射法得到，很少见到用 sol-gel方法制备外延膜的报导．择优取向及外延生长膜能太大提高材料的压电、热释电和铁电