超硬薄膜的研究新进展.pdfVIP

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2017-08-30 发布于安徽
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超硬薄膜的研究新进展.pdf

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!!!!!!!! 超硬薄膜研究的新进展 ! ! 综述 ! # ! ! ! !!!!!!! 李成明，孙晓军，张增毅，唐伟忠，吕反修（北京科技大学材料学院，北京；中国科学院兰州化学物理研究所， !$ !%%%#$ 甘肃兰州；河北省机电设备招标公司，河北石家庄） ’#%%%%#$ %(%%(! 摘要：本文介绍了碳系列薄膜、纳米多层及纳米复合超硬薄膜近年来所取得的研究成果，重点是氮化物纳米多层与复合超硬薄膜的研究状况，并对纳米多层膜在应用中存在的问题提出了解决的思路，指出了超硬薄膜的发展趋势。关键词：硬度；超硬薄膜；纳米多层与复合薄膜中图分类号：；文献标识码：文章编号：（） !#$%’!()* + ,-$).%,$#-,,),).,,,-.,) /012343066789:03=3?7@A6 5 ; ! # ! ! ，，，， )*+,-.012. 345 62780:. ;=5;-.02 @=5A-20B,8. )C D7.0E2: / / 9 /? / （，，， !FG-7IJ1-.J8KL7J-I27MN3O2-.O-7.PQ.2.--I2. 4.2R-IN2J 8K3O2-.O-7.P@-O,.8M8 S-22. S-22. !%%%# H / / ? /? 9 / 9 / ；，，，； +,2.7F*.NJ2J:J-8K)7.B,8:+,-12NJI 7.PT,N2ON+,2.-N-=O7P-1 8K3O2-.O-)7.B,8:7.N:’#%%%%+,2.7 ? ? ? ，，） #F-U-2L-O,7.2O7MV QM-OJI8.2OQ :21-.J@-.P-I2. +8I8I7J28.3,227B,:7. -U-2%(%%(!+,2.7 W H / H 9 / ：，，，， +B6C3=DC@,-O:II-.J7O,2-R-1-.JN2.N:-I,7IPK2M1NX-I-I-R2-X-P2.OM:P2. P2718.PP2718.P0M2Y-O0S5 S0+05 H /