三步酸蚀去钴对金刚石薄膜附着力影响研究.pdfVIP

第25卷第2期 硬 质 台 金 2008年6月 v文2SN02 cEMENTEDCARB|DE ^n2∞8 ≯鬻失 {II工綦耄乙I}业技蒂 簟术蒂 k警书 三步酸蚀去钴对金刚石薄膜附着力影响的研究· 邢文娟汪建华王传新皮华滨陈宁 (武汉工程大学等离子体化学与新材料重点实验室，湖北武汉，430073)” 摘要用热丝化学气相沉积(HFCVD)制备金刚石薄膜涂层之前，采用两步酸腐蚀和 三步酸腐蚀对WC—Co硬质合金(YG6)基体表面进行去co预处理。sEM形貌观察、X射 线衍射谱和EDAX能谱分析都表明，与两步腐蚀方法相比，三步酸腐蚀处理表面去co 效果更加好，沉积金刚石薄膜的压痕图更证实其对涂层质量的改善，并且该方法可以减 少预处理时间，更适宜于工业生产。 关键词硬质合金；金刚石薄膜；三步酸蚀法；两步酸蚀法；附着力 金刚石薄膜具有优异的力学性能和化学稳定性， 和应用中取得了很好的效果吐 在刀具领域有很好的应用前景，但目前仍未达到工业 本实验在深入系统地研究二步浸蚀法的基础上， 应用要求．这主要是由于金刚石薄膜与刀具表面的附 提出了三步浸蚀法脱Co预处理工艺。同时对浸蚀后 着力问题没有得到很好的解决。由于硬质合金刀具中 的试样进行氢等离子体脱碳还原，磁孔溅射镀钨过渡 Co的影响，在化学气相沉积金刚石薄膜的过程中容 层，将该方法与HFCVD法工艺相匹配，在硬质合金 易在界面层形成石墨，从而限制金刚石的形核密度、 刀具上进行了金刚石薄膜的沉积实验，并与采用二步 降低金刚石薄膜的质量及其附着力，从而使得金刚石 法的结果进行了比较。结果表明，采用该预处理工艺 薄膜在切削力作用下很容易从基体上脱落，这严重影 得到的结果明显优于二步法得到的结果，并且该方法 响了金刚石涂层刀具的切削性能和使用寿命0--21。因可以减少预处理时间，更适宜于工业生产。 此，如何有效地进行基体表面去Co预处理，改善金刚 石薄膜沉积质量，提高其与基体的结合强度，是金刚 1实验 石薄膜刀具研究的重点。 ． 硬质合金刀具的表面浸蚀脱Co预处理是一种简 1．1基体材料与表面预处理、 单、低廉、且适合于批量生产的方法。常用的浸蚀脱 为了研究该预处理方法的有效性，本实验选用的 Co预处理方法可分为一步法和二步法两种。所谓的 mmx7．5 试样为YG6硬质合金，试样尺寸规格为7．5 minx3．0 一步法，即只用一种酸或混合酸介质，对基体表面进 m。把试样分为两组：一组为两步处理试样， 行一次浸蚀除Co。尽管各种酸或混合酸可以溶解去 另一组为实施三步处理的试样。两步处理的试样浸蚀 Co．但是硬质合金基体表面的WC却不易被酸浸蚀，后用丙酮和0．5斗m金刚石微粉混合液在超声波清洗 并阻碍各种酸对Co的深入浸蚀。故简单的一步法浸 仪中振荡15min，三步处理的试样浸蚀后用丙酮和 蚀除Co，不能有效、深入地除去基体表面的Co。二步0．5la,m金刚石微粉混合液在超声波清洗仪中振荡3— 5min。 法是90年代中期发展起来的，该方法先用Murakami 荆浸蚀除WC相、再用酸浸蚀除Co相，此方法在研究 支持项目：湖北省科技攻关计划支持项目(项目编号2002A．AlOSA02)．湖北省教育厅2004年仞新团队支持项目。 hu．eom 万方数据 ·96·