一维深亚波长光栅耦合波分析及偏振特性研究.pdfVIP

一维深亚波长光栅耦合波分析及偏振特性研究.pdf

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一 一 一 文章编号 一维深亚波 光 的 合波分 长 栅 祸 析 的 及偏振特性 研究 , , , 王 周 进 晓 信凡 袁 惠 伟 南京大学物理系 江, 苏南京 论 一 一 亚 , 强 提要 讨 了 种新的 维深 波长光栅 其周期结构由等离子体增 化学气相淀积法 制备的周期性多 。 。 层 绍了 深亚波长 的 法 用 格 理 了 一 深亚 膜构成 简单介 这种 光栅 制作方 采 严 拥合波分析 论计算 这种 维 波长光 的衍 效 , 了它的 振 。 栅 射 率 分析 偏 特性 关 一 深亚波长光 严, , 振 镶词 维 栅 格藕合波分析 偏 特性 中图 识 分类号 文献标 码 一 一 一

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