高精度微驱动装置研究.pdfVIP

安 徽 工 拳 院 学 报 兰!!!! ：：!： 1992j11(4)l66—73 6—7； 高 精 度 微 驱 动 装 置 的研 究 查旦盏 陈进榜 TM二 2 (安徽工 学院 合肥 230069) (华东工学院 南京 210014) 摘 要 本文分析压 电陶瓷式微驱动装置 的工作原理厦其运动模式，设计 7具有参数识别与 自校正功能控制 系统，馥善 7擞驱动装置的性能，提 高7驱 动精度。在应用于国享光学计量仪器上，其性能指标达到国际同类产品先进水 晋n J √ 关t调 压电陶瓷I微驱动I参数识别}自动控制。 中圈分类号 TM282~TP273．2 U 刖 舌 压 电陶瓷微驱动装置是一种高精度微位移器件，它能实现亚微米级的微位移。由于 其微位移精度高 (达0．0l级以上 )、灵敏度高、响应快，自动控制容易、耐 潮 湿，耐 寒冷，抗强磁场和强辐射等优点，在光学，微 电子技术、高精度定位，精密加工等领域 广泛被采用。影响压电陶瓷微驱动装置性能的因素，不但与压电陶瓷材料的化学结构、 制作工艺有关 ¨】，还与微驱动器结构形式，加工工艺及驱动控制方式有 关。因 此，高 性能的微驱动器的研制一直是国内外潜心研究 的课题。本文在分析了压 电陶瓷运动机理 的基础上提出一种层叠式结构的高精度微驱动器，并采用现代控制理论 ，适时控制 ，进 一 步提高了微驱动装置 的性能。 1 压 电陶瓷驱动原理及运动方程 压 电陶瓷 (PZT)微驱动器，是基于压 电体的逆向压 电效应的机理，即当具有压 电 性 电介质置于外}坳中，由于 电场作用，引起介质 内部的正负电荷 中心产生相对位移， 而这一位移又导致介质友生变形。这应变的力学量与电场的电学量之 问的转换关系，用 压 电方程表示为 l=s 』Tl+dl (1．2) (i = l～ 6 ^= l～ 3) (1= 2= 3=ZZ) 也可用距阵 来表示： 收文 日期：l992一O6一l5 第l1叁第4期 番精度徽鞋动装置的研究 ·e． s 。 … … s。。、1 s： … … … 。 ＼= == ====、 fl ／___ -_ JJ - … … … … __ see ¨ 儿 ” 0 0 O 竺-／ S S 式中 l，——弹性柔顺常数 ¨ 0 0 0 S S 一——压 电应变常数 ¨ ¨ O O 0 ，— — 应力 O O O O O E^——电场 S ～‘ 变形量 0 0 O 0 ¨O 脚标说明：分量所沿坐标的轴向数字 1、2、3，4、5、6各自与耽， ，ZZ，