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第 26 卷 　第 7 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 26 　No . 7 2005 年 7 月 C H IN ESE J OU RNAL O F SEM ICONDU C TOR S J uly ,2005 MOEMS 光开关动力学过程分析 孙东明　董 　玮 　郭文滨 　刘彩霞 　王国东 　徐宝琨 　陈维友 ( 吉林大学集成光电子学国家重点实验室 , 长春 　1300 12) 摘要 : 采用静电力驱动方式的 MO EM S 光开关 ,从运动机制上来说 ,是由静电力矩 、恢复力矩 、空气压膜阻尼力矩 以及重力力矩等条件共同作用的结果. 对于微驱动器驱动条件的研究 ,不能单纯地从力矩平衡的角度来分析 ,应从 动力学出发 ,才能较好地描述其运动过程 ,得到精确的驱动条件分析结果. 本文从 MO EM S 倾斜下电极扭臂式光开 关出发 ,介绍了动力学分析方法的过程. 通过数值求解方程 ,得到器件的可动部分的运动速度等方面的结果 ,将其 在不同驱动条件下的运动状态描述出来 ,从而达到确定光开关静电驱动条件的目的. 关键词 : MO EM S ; 动力学分析 ; 角速度 ; 倾斜下电极 PACC : 4283 ; 6 120J 中图分类号 : TN2 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 02534 177 (2005) 1 　引言 2 　器件模型及工作原理 近年来 ,基于 MO EM S 技术的光开关由于具有 图 1 为 2 ×2 静电驱动微反射镜式光开关的模 插入损耗小 、消光比高 、可扩展性好 、易于集成等优 型示意图. 位于悬臂梁上微反射镜被放置于四根垂 点已经引起了人们广泛的兴趣[ 1～6 ] ,将成为光开关 直放置的单模光纤之间 ,在没有施加驱动电压时 ,微 研发的重要方向. 在国内,信息产业部电子第十三研 反射镜保持位置不动 ,从入射光纤发出的光被微反 究所以及中国科学院微系统与信息技术研究所等单 射镜反射 ,改变方向后进入到镜面同一侧的出射光 位在 M EM S 领域的研究起步较早 ,取得了一定的成 ( ( ) ) 纤中 ,这是开关的反射状态 图 1 a . 在上电极和 果[7 ,8 ] . 在多种类型的光开关中 ,静电力驱动技术是 下电极之间有驱动电压输入时 ,悬臂梁受到静电力 较为广泛采用的一种. 但是 ,从大量的报道来看 ,关 产生的静电力矩向下弯曲,带动微反射镜移开光通 于光开关在给定驱动条件下的运动机理的分析为数 路 ,入射光沿直线传播进入出射光纤 ,这是开关的直 不多 ,而且都是从力矩平衡角度进行计算分析[ 9 ] . 从 ( ( ) ) ( ) 通状态 图 1 b . 图 1 c 给出了倾斜下电极和悬臂 力矩平衡角度出发 , 归根结底是研究了运动的角加 梁的截面示意图. 微驱动器的结构参量数值如表 1 速度变化的问题 ,而光开关可动部分的运动情况是 所示. 由其角速度变化决定的. 因此从动力学角度出发 ,研 μ 表 1 　2 ×2 静电驱动微反射镜