纳米磁性膜微波电磁参量谐振腔法测量分析.pdfVIP

第34卷 　第10期 华 　中　科 　技 　大 　学 　学 　报 ( 自然科学版) Vol . 34 No . 10 2006年 　10月 　 J . Huazhong U niv . of Sci . Tech . (Nat ure Science Edition) 　Oct . 　2006 纳米磁性膜微波电磁参量谐振腔法测量分析 江建军 　陶　洁 　张秀成 　何华辉 (华中科技大学 电子科学与技术系 , 湖北 武汉 430074) 摘要 : 基于谐振腔微扰法测量薄膜复电磁参数的基本原理 ,使用微波网络分析仪和谐振腔 ,利用虚拟仪器技 术 ,开发了薄膜电磁参数 自动测量系统. 利用测试系统对 FeCo 基纳米膜进行了测试 ,分析了散射参数 、信号 源频率与 Q 值 、样品超薄特性 、热环境和实验操作等因素对测量结果产生的影响 ,并由此提出了改进谐振腔 法的实验方案. 提高了测量的精度 ,复磁导率测试误差低于 6