放电等离子烧结技术制备复合梯度靶材的研究.pdfVIP

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2017-08-30 发布于重庆
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放电等离子烧结技术制备复合梯度靶材的研究.pdf

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山东广和放电等离子烧结系统（SPS）、真空热压烧结炉 053155556099 第卷第期功能材料与器件学报 # + OQ4 #/ EQ + 年月 ’## . ABCDEFG BH HCEIJKBEFG LFJ0DKFGM FEN N0OKI0M M7P=/ ’## 文章编号 ) * ! ##$ % ’(’ ’## #+ % #+, % #( 放电等离子烧结技术制备复合梯度靶材的研究岳明刘卫强张东涛刘燕琴张久兴 / / / / ) 北京工业大学新型功能材料教育部重点实验室北京 * / ###’’ 摘要：采用放电等离子烧结技术制备了J;H7IQ U J3 和T3 B U I6 复合梯度靶材，利用扫描电子显微 ’ + 镜和能谱分析仪对材料的微观组织形貌及成分进行了分析。结果表明，合成的复合梯度靶材具有宏观组织不均匀性和微观组织连续性的特征，显微组织中不存在微裂纹。与单一靶材相比， J;H7IQ U J3 复合梯度靶材解决了在制造和使用过程中容易碎裂的问题/ T3 B U I6 复合梯度靶材 ’ + 解决了在溅射过程中的散热问题。关键词：放电等离子烧结；；；复合梯度靶材 J;H7IQ U J3 T3 B U I6 ’ + 中图分类号! JL’, 文献标识码! F !#$%%’() (* +(,$(-’# .%/#/ %.# 01 -$%2 $3%-,% -’)#’). VC0 L389/ GKC W73 % X3289 / YZFE[ NQ89 % =2Q/ GKC V28 % X38/ YZFE[ A36 % \389 ) ]75 G2;Q^2=Q^5 Q_ F?‘28@7? H68@=3Q824 L2=7^324a/ L383a=^5 Q_ 0?6@2=3Q8/ T73389 C83‘7^a3=5 Q_ J7@b8Q4Q95/ T73389 ###’’/ Ib382 * ： 40-%+ IQ1PQa3=7 9^2?7? J;H7IQ U J3 28? T3 B U I6 =2^97= 12=7^324a c7^7 P^Q?6@7? ;5 aP2^d P42a12