第五章 电容传感器 本章学习电容传感器的原理及应用,还涉及压力、液位及流量的测量方法。 第一节 电容式传感器的工作原理及结构形式 上式中,哪几个参量是变量?可以做成哪几种类型的电容传感器? 第一节 电容式传感器的工作原理及结构形式 改变A、d、? 三个参量中的任意一个量,均可使平板电容的电容量C 改变。 固定三个参量中的两个,可以做成三种类型的电容传感器。 一、变面积式电容传感器 图a是平板形直线位移式结构,其中极板1可以左右移动,称为动极板。极板2固定不动,称为定极板。图b是同心圆筒形变面积式传感器。外圆筒不动,内圆筒在外圆筒内作上、下直线运动。图c是一个角位移式的结构。极板2的轴由被测物体带动而旋转一个角位移? 度时,两极板的遮盖面积A就减小,因而电容量也随之减小。 变面积式电容传感器的特性 变面积式电容传感器的输出特性是线性的,灵敏度是常数。这一类传感器多用于检测直线位移、角位移、尺寸等参量。 请画出变面积式电容传感器的输出特性曲线! 二、变极距式电容传感器 当动极板受被测物体作用引起位移时,改变了两极板之间的距离d,从而使电容量发生变化。 变极距式电容传感器的特性曲线 从图
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