高压单边器件衬底电流再次升高和相关热载流子注入效应.pdfVIP

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2017-08-28 发布于安徽
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高压单边器件衬底电流再次升高和相关热载流子注入效应.pdf

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第卷第期半导体学报２９４犞狅犾．２９犖狅．４　　　　　　年月，２００８４犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛犃狉．２００８狆高压单边器件的衬底电流再次升高和相关的热载流子注入效应，，，，，１２３ ３３３３１２３３３戴明志刘韶华程波李虹叶景良王俊江柳廖宽仰　　　　　　　　　　　（中国科学院上海微系统与信息技术研究所，上海）１２０００５０　（中国科学院研究生院，北京）２１０００４９　（上海宏力半导体制造有限公司，上海）３２０１２０３　摘要：基于泊松方程和幸运电子模型，推出了适用于高压型器件衬底电流（）的公式，并且为模拟和实验测量的结果狀犐犛犝犅所验证普通型低压器件的热载流子注入（）效应和相关因此，特征曲线的解释理论和基于理论的正确公式．狀犎犆犐犐．犐犛犝犅犛犝犅表述对于确保器件设计的可靠性尤为重要高压器件的随栅极电压变化在峰值后再次升高然而在普通低压器件的经．犐．犛犝犅典特征曲线中，仅呈现一个峰高压器件的