等离子体增强化学气相沉积PEVCD的研究现状 014410300529 白文周.docVIP

太阳能光电工程学院 《材料加工设备概论》 课程设计报告书 题 目： 等离子体增强化学气相沉积PEVCD的研究现状 姓 名： 白 文 周 专 业： 光伏材料加工与应用技术 班 级： 09级光伏材料助考班 准考证号： 014410300529 设计成绩： 指导教师： 摘 要 本设计主要阐述了等离子体增强化学气相沉积PECVD的基本原理，什么叫PECVD以及在太阳能电池片制作过程中的研究现状 关键词： 等离子 化学气相沉积 基本原理 PECVD 研究现状 目 录 绪 言 3 1 　 4 1.1 等离子体的基本概念和性质 4 1.2 等离子体的特性参数描述 5 1.2.1粒子密度和电离度 6 1.2.2 电子温度和粒子温度 6 1.3 等离子体的产生方法和原理 7 2 辉光放电等离子体的物理基础 8 2.1 辉光放电装置 8 2．2 辉光放电原理 10 3等离子体增强化学气相沉积技术 11 3.1 等离子体增强化学气相沉积的主要过程 11 3.2 等离子体内的化学反应 12 3.3 生长表面的成膜反应 14 参考文献 18 绪 言 本设计概要地描述了等离子体的基本概念、性质以及描述等离子体的主要参数；阐述了常用于薄膜制备的辉光放电方法产生低温等离子体的试验装置和物理原理；以硅烷等离子体技术沉积硅薄膜为例，较为系统地分析了等离子体增强化学气相沉积的主要过程、等离子体内的化学反应以及薄膜生长表面的成膜反应。 1 　1.1 等离子体的基本概念和性质 近代科学研究的结果表明，物质除了具有固态、液态和气态的这三种早为人们熟悉的形态之外，在一定的条件下，还可能具有更高能量的第四种形态——等离子体状态。例如通过加热、放电等手段，使气体分子离解和电离，当电离产生的带电粒子密度达到一定的数值时，物质的状态将发生新的变化，这时的电离气体已经不再是原来的普通气体了。由于这种电离气体不管是部分电离还是完全电离，其中的正电荷总数始终和负电荷总数在数值上是相等的，于是人们将这种由电子、离子、原子、分子或者自由基团等粒子组成的电离气体称之为等离子体[ 1]。 不管在组成上还是在性质上，等离子体不同于普通的气体。普通气体由电中性的分子或原子组成，而等离子体则是带电粒子和中性粒子的集合体。等离子体和普通气体在性质上更是存在本质的区别，首先，等离子体是一种导电流体，但是又能在与气体体积相比拟的宏观尺度内维持电中性；其次，气体分子间不存在净电磁力，而等离子体中的带电粒子之间存在库仑力；再者，作为一个带电粒子体系，等离子体的运动行为会受到电磁场的影响和支配。因此，等离子体是完全不同于普通气体的一种新的物质聚集态。 应当指出，并非任何的电离气体都是等离子体。众所周知，只要绝对温度不为零，任何气体中总存在有少量的分子和原子电离。严格地说来，只有当带电粒子地密度足够大，能够达到其建立的空间电荷足以限制其自身运动时，带电粒子才会对体系性质产生显著的影响，换言之，这样密度的电离气体才能够转变成等离子体。除此之外，等离子体的存在还有其特征的空间和时间限度，如果电离气体的空间尺度L 不满足等离子体存在的空间条件LD（德拜长度D为等离子体宏观空间尺度的下限）的空间限制条件，或者电离气体的存在的时间不满足p（等离子体的振荡周期p为等离子体存在的时间尺度的下限）时间限制条件，这样的电离气体都不能算作等离子体[2]。 1.2 等离子体的特性参数描述 等离子体的状态主要取决于它的组成粒子、粒子密度和粒子温度，其中粒子密度和温度是描述等离子体特性的最重要的基本参量。 1.2.1粒子密度和电离度 如前所述，组成等离子体的基本成份是电子、离子和中性粒子。通常分别用ne、ni 和ng 来表示等离子体内的电子密度、粒子密度和未电离的中性粒子密度，而当ne＝ni时，则可用n 来表示二者中任一个带电粒子的密度，简称为等离子体密度。然而，一般等离子体中可能含有不同价态的离子，也可能含有不同种类的中性粒子，因此电子密度与粒子密度不一定总是相等的。对于主要是一阶电离和含有同一类中性粒子的等离子体，可以认为ne≈ni。对于这种情形，电离度定义为：=ne/( ne + ng)。电离度很小的等离子体称为弱电离等离子体；当?较大（约大于0.1）时，称为为强等离子体；＝1 时，则叫完全等离子体。在热力学平衡条件下，电离度仅仅取决于粒子种类、粒子