基于CFD无阀微泵锯齿形流道仿真分析.pdfVIP

基于 CFD 无阀微泵锯齿形流道仿真分析1 关炎芳，张国贤 上海大学机电工程与自动化学院，上海（200072 ） E-mail：sgyffg@126.com 摘 要：本文提出了一种应用于无阀微泵新型锯齿形流道。用CFD 软件对锯齿形流道不同开 口角度进行了模拟，采用不可压缩流体κ − ε 方程组作为控制方程，用有限体积法离散， SIMPLE 压力修正方法进行迭代计算。通过模拟，得到了锯齿形流道内部流动的流场、湍动 能分布，分析了压力、流量变化，并与单级锥形管道作一对比，为微泵理论研究和优化设计 提供了可靠依据。 关键词：微泵；锯齿形流道；模拟 1. 引言 近几年，液体微泵引起国内外MEMS科研工作者的广泛重视，研究了大量的不同结构形式 的微泵。包括机械和非机械泵、有阀和无阀泵、往复式和蠕动式泵,其驱动方式主要有静电 驱动、压电驱动、热驱动泵等[1]。其中无阀压电驱动泵由于压电驱动弹性薄板可以输出毫米、 微米、甚至纳米量级的位移或机械运