电弧离子镀沉积TiN／AlN—TiAlN复合膜的耐磨性.pdfVIP

装《备制造技术)2010年第2期 电弧离子镀沉积 TiN／AIN—TiAIN复合膜的耐磨性 李争显 ，王少鹏，潘晓龙，杜继红，王宝云，严 鹏 (西北有色金属研究院腐蚀与防护研究所，陕西西安 710016) 摘 要：采用高纯铝、钛靶材，通过电弧离子镀工艺在 TC4基材上沉积制备了TiN／AIN—TiAJN复合多层膜，用HV一1000型显微硬度 计测试了膜层的硬度 ，用球盘磨损试验对 比研究了膜层和基材的耐磨性。结果表 明：膜层硬度为 2856Hv。耐磨性相 比基材提 高6倍 以上 。 关键词：电弧离子镀 ；复合膜 ；耐磨性 中图分类号：TG174．44 文献标识码 ：A 文章编号：1672—545X(2010)02—0001—02 钛合金具有比强度高、耐腐蚀性能优异、中温性能稳定等 2 结果及讨论 优点，使其在航空工业具有广阔的应用前景[1]。但钛合金的摩 擦系数大 ，抗粘着磨损性能差 ，在作为磨损部件时 ，容易造成 2．1 膜层的表面硬度 部件的磨损失效嘲。因此 ，为提高钛合金的耐磨性，延长钛合金 部件的使用寿命 ，必须对钛合金进行表面改性处