空气轴承提高气浮系统稳定性的阻尼技术.pdfVIP

第8卷 第 1期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 V01．8 N0．1 2010年 1月 NanotechnologyandPrecisionEngineering Jan． 2010 空气轴承提高气浮系统稳定性的阻尼技术 徐登峰，朱 煜，尤 政，张 鸣，赵 冶 (清华大学精密仪器与机械学系，北京 100084) 摘 要：静压空气轴承拥有清洁、近零摩擦等优点，是一种优秀的运动导向承栽部件，但是它在承栽方向上阻尼较 小，对外界引起振动和空气轴承本身固有微振动的衰减较慢，影响了系统的稳定性和测量准确性．为了解决这个问 题 ，本文以小孔节流空气轴承作为研究对象，在其结构 中部增设 了类似空气弹簧的上下腔室和节流孔，当空气轴承 振动时，压力空气在上下腔室之间流动，通过节流孔处的节流效应将振动能量衰减掉．根据这一构想，首先对新结 构通过空气弹簧理论进行 了初步优化设计，接着对新结构空气轴承和普通空气轴承进行 了冲击响应实验，证 实了 新结构能够很好地起到快速衰减振动的作用，同时对微振动有 良好的抑制效果，然后通过模态分析软件 MEscope 得到了空气轴承的阻尼比系数 ，发现新结构空气轴承阻尼比系数较普通结构空气轴承阻尼比系数有近一个数量级 的提高．另外，还通过实验得到新结构空气轴承可以略微增加轴承的承栽能力和刚度． 关键词：空气静压轴承；气浮轴承；阻尼；微振动 中图分类号：TH7 文献标志码：A 文章编号：1672-6030一(2010)01-00844)6 IImmpprroovviinnggDDaammppiinnggCaappaacciittyyoftthheeAAeerroossttaattiiccBBeeaarriinngg XU Deng·feng，ZHU Yu，YOU Zheng，ZHANGMing，ZHAN Ye (DepartmentofPrecisionInstrumentsandMechanology，TsinghuaUniversity，Beijing100084，China) Abstract：Aerostaticbearinghasbeenusedinmanyfieldsasanexcellentguidanceandcarryingcompo— nentforitspropertiesofcleannessandnearzerofriction．Yetitslow dampingcapacityincarryingdirec— tionleadstorelativelyslow depressionofthevibrationfrom outsideandthenaturalmicrovibrationofthe aerostaticbearing，whichextremely affectsthesystem Sstability andmeasurementaccuracy．Thispaper presentsanew structureofaerostaticbearingwithadditionofatopchamber，abottom chamberandori— ricesinthemiddle．Whentheaerostaticbearingvibratinginducesthecompressedairtogothroughthe orificesbetween topandbottom chamberin reciprocatingway，energyofvibrationcan bedepressedby throttlingeffect．Theoreticalresearchandimpulseresponseexperimentsweretakenontheproposedaero— staticbearing．Bothdemonstrateandverifyitsgoodperformanceofvibration