真空镀膜技术及工艺——法雷奥内部培训资料.pptVIP

真空镀膜技术及工艺培训 “真空”的定义及分类 真空史上最著名的试验：马德堡半球试验 真空泵种类： 1.低真空泵： 膈膜泵 离心泵 旋片泵* 罗茨泵* 爪泵 2.高真空泵 油扩散泵* 涡轮分子泵 低温捕集泵 钛升华泵 3.真空辅助装置 低温冷阱（PolyCold） 旋片泵示意图： 罗茨泵示意图： 油扩散泵示意图： 分子泵示意图： 低温泵示意图： 真空测量仪表: 常用真空器件表示符号: 影响镀膜质量的因素 镀铝对质量的影响 1.铝膜质量 在对铝膜分析是发现 高质量的铝膜中铝含量95% 低质量的铝膜中铝含量在80% 要使铝膜中铝的含量尽量高 1.铝原材料要纯 2.使用尽可能快的蒸发速度 3.减少真空中其它成分 镀铝时真空尽可能高 真空室内清洁无油无漏气 影响镀膜质量的因素 保护层对质量的影响 要在短时间内形成厚度均匀的二氧化硅保护层 * * 湖北法雷奥车灯有限公司 主讲人：潘峰 武汉辅仁光电有限公司 工业上把压力低于大气压的气体空间称为真空，习惯上又把真空分为低真空、中真空、高真空、超高真空、极高真空。 常用真空表示单位有毫巴（mbar）、乇（Tor）、帕斯卡（pa） 1mbar = 1.33Tor = 100pa 低真空：1.0E3mbar（大气压）----10mbar 中真空：10mbar---