基于光学干涉技术的MEMS薄膜泊松比在线测量方法研究.pdfVIP

第 lO卷第 1期 南京师范大学学报 (工程技术版) VoI．10No．1 2010年3月 JOURNALOFNANJINGNORMALUNIVERSITY(ENGINEERINGANDTECHNOLOGYEDITION) Mar．2010 基于光学干涉技术的MEMS薄膜泊松 比 在线测量方法研究 赵彩峰，戎 华 (南京师范大学 江苏省光 电技术重点实验室，江苏 南京 210097) [摘要] 提|lJ了一种基于光学干涉技术的MEMS薄膜泊松比在线测量方法．该方法采用直角悬臂梁作为测试结构，在上下两 电极之间加上 电压后，在静 电力的作用下，与锚区相连的第一段直梁将发生弯曲变形和扭转变形．先 由米劳干涉仪测得悬臂梁 的变形，然后分离 形变 中的弯 曲分量和扭转分量，进而计算出薄膜材料的泊松 比．用 CoventorWare软件验证．结果显示该方法 精度很高． [关键词] MEMS薄膜，泊松比，在线测量，直角悬臂梁 [