基于电子散斑干涉技术的圆度误差测量方法.pdfVIP

激《光杂志吴》君君等：基于电于散舞干涉技术的圆度误差测昔方法 、 2009年第30卷第2期 LASER)bUaNAUv01．30．No．2．2OO9) 51 基于电子散斑干涉技术的圆度误差测量方法 吴君君，宋 伟，段晓飞 (燕山大学理学院，河北 秦皇岛 066004) 度釜仪寝测叁量、两点或囊三点测量法、影豢像测翥墼量法等霎。这萋些壶方雾篓法詈由 ，6一：，o[-+1。c。s(+)“Jjok,OOcAx,] (s) ： 孽衮錾翥曩 罂蠡磬 鋈痞董罾鏊喜管茬 ，口一：21o(COS()Jo(k)] (6) 这可以很