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无尘室洁净度定期检测及测量标准
无尘室洁净度定期检测及测量标准
1、为了保证无尘室的洁净度满足工艺要求,必须定期对无尘室内的洁净度进行检测。
2、 检测测试设备:激光粒子记数器
3、检测周期:每周一上午、下午对各洁净区域进行一次检测
4、检测条件:静态洁净度测试
5、数据收集整理:将每次检测的结果输入监控室的电脑中储存,并在每个季度末(或下季度初)给各部门发该季度的洁净度记录图表电子档通报给各部门。
6、各洁净区域洁净级别标准:按照《半导体公司能源管理标准》要求执行。
洁净等级标准 相当于ISO级别 等效于GB级别
K-1系统划片区域
静态1万级
K-1系统改造前为静态10万级 CLASS 7
CLASS 8 CLASS 7
CLASS 8
K-2系统包封区域 静态30万级 CLASS 8.3 CLASS 8.3
K-3系统搪锡区域 静态30万级 CLASS 8.3 CLASS 8.3
K-4系统测试区域 静态30万级 CLASS 8.3 CLASS 8.3
K-8系统电镀区域 静态30万级 CLASS 8.3 CLASS 8.3
现有其他空调系统 舒适性空调系统,无洁净要求 Not Applicable Not Applicable
7、无尘室用净化空调系统及设备的维护管理与相应的操作规程、维修制度等(包括净化空调系统和洁净室相关的公用动力系统的设备、管线等管理维护,如,空气过滤器、空调机、局部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、安全报警设施等)。
资料来源:深圳市君信达环境控制系统有限公司
地址:深圳市南山区创业路中兴工业城11栋425
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