5.5扩散工序培训.pptVIP

4.1.2相关图片ⅰ 插 片 净化工作台 插片时必须穿好洁净工作服。 4.1.2相关图片ⅱ 严禁裸手操作，一定要戴好乳胶手套，且不得用手直接接触硅片和石英舟。 真空吸笔，从载片盒中吸取硅片插到石英舟内。 载片盒 4.1.2相关图片ⅲ 碳化硅桨，易碎。安装、拆卸时切勿碰撞！ 上 桨 移动、放置石英舟时，一定要小心轻放！ 触摸屏 4.2 换源作业 1. 换源前先确认工艺已停止运转，确定可以换源，戴好防毒面具、乳胶手套、和防酸服等，切断气源（小N2），先关进气阀，后关出气阀，阀门拧紧即可，将源瓶从源瓶座中取出，注意要用二只手拿，力度要轻，应避免碰撞，拧松阀门将软管拔下，将换下来的源瓶放至周转盒并送至抽风橱中。 2. 检查待换源瓶有无裂纹、旋钮松脱、残液等缺陷，如有问题要标识并隔离，并通知相关人员处理。用周转盒将源瓶运到作业区。接气路软管，软管要插到位，接好后要轻拉软管。接好软管后先开出气阀，再开进气阀，出气阀一定要拧到位，保证气流畅通，开阀门时要左手稳住阀，不可一手扶瓶身一手拧阀，以免会把阀门拧断。 3. 换好后先通小流量N2试验（第二个人手动打开小N2），确认源瓶中有气泡出，管路接口无异常，且无回流或倒流现象则OK，把源瓶放入源瓶座中，确认恒温箱温度，关好源柜门，收好防毒面具、防酸服等，手套扔入指定场所，作好换源记录。 4.3 石英管的拆卸、清洗和安装