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用Renishaw检查规进行三坐标测量机几何误差检测的研究 王东升　李书和　张国雄 摘要　本文研究了三坐标测量机 几何误差的快速检测方法。根据三坐标测量机空间误差与几何误差关系，提出了使用Renishaw检查规测量几何误差的方法。该方法通过测量XY，YZ， XZ平面内特定圆周上各点的空间误差，可获得所有21项几何误差。这种方法精度高，操作方便，仅用2个小时即可完成全部21项误差的测量。关键词　三坐标测量机　几何误差　检查规 Measurement of Geometric Errors of CMM with Renishaw Checking Gauge Wang Dongsheng　Li Shuhe　Zhang Guoxiong (Tianjin University,College of Precision Instrument Opto-electronics Engineering,Tianjin,300072) Abstract　A fast method for measuring geometric errors of CMM is present in this paper.According to the relation between volumetric errors and geometric errors of CMM, a method to measure the geometric errors with Renishaw Checking Gauge is developed.All the 21 geometric errors can be obtained by the means of measuring volumetric errors on some specific circles in XY,YZ,XZ　planes.It proved to be accurate and easy-operation.All the 21 geometric errors can be obtained within two hours.Key words　CMM　Geometric error　Checking gauge 1　引言 　　三坐标测量机与数控机床的整体精度水平是产品加工质量的保障。 因此，坐标测量机与数控机床的误差检测吸引着国内、外许多专家的注意。坐标测量机与机床的21项几何误差分为四类，即位置误差、直线度误差、角运动误差和 垂直度误差，常见的测量方法是采用双频激光干涉仪、电子水平仪对测量机的各个单项误差逐一进行测量。这种方法精度很高，但测量时间较长，劳动强度大，对操 作者的技术要求较高，而且设备昂贵。因此，研究一种能够快速、准确、方便地检测出坐标机与机床误差从而进行补偿的方法具有十分重要的意义。　　本文在对坐标测量机的空间误差、各项几何误差进行了系统的研究后，提出了使用Renishaw检查规进行坐标测量机误差检测的方法。本文详细阐述了在 XY平面进行误差分解的过程，在YZ、XZ平面上进行类似的处理，可以得到影响坐标机精度的所有几何误差。该方法以一台三坐标测量机为研究对象，同样适用 于机床。　　三坐标测量机由相互垂直的三个轴组成，各轴由滑块—导轨系统实现直线运动。滑块除轴向外的其余五个自由度被限制，但由于存在着制造误差，在这五个方向 上滑块仍然有微小位移(角位移和线位移)。同时沿轴向运动时还有定位误差。这样，坐标机的一根轴上有六项误差，加上由于装配等因素造成的三个轴之间的垂直 度误差，共有21项几何误差。在工作空间内任一点处，三坐标测量机的空间误差模型为［4］： 　　 (1) 式(1)中，δv(u)表示沿u轴运动在v向的线位移误差；εv(u)表示沿u轴运动绕v轴的角运动误差；u,v分别代表x,y,z；　xt,yt,zt分别为测头接长杆在x,y,z方向的长度。　　由式(1)可见，空间误差为21项几何误差综合作用的结果。进行误差检测的第一步是得到测量位置的空间误差值，然后，通过一定的数学处理方法，分离出各个几何误差。 2　几何误差的测量原理 　　根据各项几何误差的性质，我们将各轴几何误差都用关于各轴坐标的二阶多项式表达，其中直线度误差的一阶系数为零。例如： δv(u)=avu1u+avu2u2 (2) 式(2)中avu1、avu2分别表示线位移误差δv(u)的一次、二次系数； εv(u)=bvu1u+bvu2u2 (3) 式(3)中bvu1、bvu2分别表示角运动误差εv(u)的一次、二次系数。　　垂直度误差与坐标无关，是未知常数。这样21项误差共有33个待定系数。求取21项误差的过程就是确定各个系数的过程。 2.1　Renishaw