传感器及应用 第6章 电容式传感器.ppt

　第五章　电容式传感器 电容式传感器的工作原理和结构 电容式传感器——将被测非电量的变化转换为电容量变化。 平板电容器的电容 根据被测参数的变化分： 变极距型电容传感器(d) 变面积型电容传感器(A) 变介质型电容传感器(ε) 变极距型电容传感器 变面积型电容传感器　 变电介质型电容式传感器 柱式 变介质型电容式传感器 平板式 电容器式传感器的灵敏度及非线性 灵敏度（变面积型） 非线性 差动平板式电容传感器 电容传感器的等效电路 电容式传感器的测量电路 电容传感器的特点：电容量小，变化更小（PF级）。理论上，交流电桥可作为电容传感器的测量电路，但由于电容及变化太小，不易实现。 调频电路 运算放大器式电路 二极管双T形交流电桥 脉冲宽度调制电路 调频电路 运算放大器式电路 二极管双T形交流电桥 脉冲宽度调制电路 C1充电，VF 。当VF Vref时，D=0 Q=0，信号反转，Q=1。C1经D1放电。 C2充电，VG 。当VG Vref时，D=0 Q=0，Q=1，再次反转。C2经D2放电。 设双稳态触发器输出高电平U1，低电平0 电容式传感器的应用（1） 电容式压力传感器 电容式传感器的应用（2） 加速度传感器 电容式传感器的应用（3） 差动式电容测厚传感器 第五章作业： p78 1、4、5 * * 若d从d0→ d0- Δd, 电容量C0→ C0 +ΔC, 则有 ( ) 当　　　　时，变极距式电容传感器有近似线性关系，此时灵敏度 为了获得高灵敏度，一般d0较小，但—— d0过小易引起电容器击穿或短路，可放置高介电常数材料如云母片 dg d0 图5-4　放置云母片的电容器 一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在 20～100pF之间, 极板间距离在25～200μm的范围内, 最大位移应小于间距的1/10, 故在微位移测量中应用最广。 对于云母， 图5-5 变面积型电容传感器原理图 图5-6 电容式角位移传感器原理图 7 电容的增量正比于被测液位高度， 可测量一种流体的液位高度 8 电容变化与电介质的移动量L成线性关系 可用来测量纸张、绝缘薄膜等的厚度，也可用来测量粮食、纺织器、木材或煤等非导电固体介质的湿度。 （忽略了线性及以上高次项） 泰勒展开 保留二次项，并以此做为非线性误差： 目的： 　　提高灵敏度 　　减小非线性误差 非线性误差： 灵敏度： Lc C Rs Rp C Lc 简化 计算有效电容Ce: 两点注意： 工作频率等于或接近谐振频率时，谐振频率破坏了电容的正常作用。因此，工作频率应该先择低于谐振频率。 电容式传感器的有效电容除与位移有关外，还与角频率有关。因此，在实际应用时必须与标定的条件（ω）相同。 11 特点： 转换电路生成频率信号，可远距离传输不受干扰。 具有较高的灵敏度，可以测量高至0.01μm级位移变化量。 但非线性较差，可通过鉴频器（频压转换）转化为电压信号后，进行补偿。 12 运算放大器要求：输入阻抗高（避免泄漏）、放大倍数大（接近理想放大器） 特点： 解决了单个变极板间距离式电容传感器的非线性问题 要求Zi及放大倍数足够大 为保证仪器精度，还要求电源电压的幅值和固定电容稳定 由于Cx变化小，所以该电路实现起来困难 正负半周分析： 正半周：C1充电，电流顺时针； C2放电，电流逆时针 负半周： C2充电，电流逆时针； C1放电，电流顺时针 若C1 = C2，则电流抵消，若C1 ≠C2，则RL有信号输出 几点说明： 该电路电源频率Mhz级，电源电压几十伏，电源的稳定性对输出直接产生影响。 当电容以PF级变化时，输出以V级变化。 B 双稳态触发器 A1 A2 R1 R2 Q Q- A F G D D- Uref D1 D2 C1 C2 uo 当d1 =d0 -Δd, d2 = d0+Δd时，有 17 18 19