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　　　电池培训 太阳电池制造 ——制造过程、工艺及卫生 太阳电池制造过程（流程图） 太阳电池制造过程（一） 硅片装盒 超声波清洗 硅片腐蚀去除硅片损伤层（和形成绒面） 硅片甩干 单晶制绒的原理： 热的NaOH溶液去除硅片表面机械损伤层：〔硅酸钠起增加硅片表面成核密度和减缓反应的作用，异丙醇起带走因反应粘附在硅片表面的气泡的作用并产生氢气〕 反应方程式：Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2↑ 单晶制绒的原理： HF去除硅片表面氧化层；去除硅片表面残余碱： HCl去除硅片表面金属杂质： 盐酸具有酸和络合剂的双重作用，氯离子能与 Pt 2+、Au 3+、 Ag +、Cu +、Cd 2+、Hg 2+等金属离子形成可溶于水的络合物。 单晶制绒的原理： 单晶绒面的大小跟四个因素有关：氢氧化钠的浓度，异丙醇的多少，温度的高低和反应时间的长短来决定。当绒面不理想时，我们可以改变其中的一个量其余三个不变来调节，最常用的是改变氢氧化钠和时间来调节。在制绒过程中一定要用显微镜看绒面，称重和测减薄量。 单晶的各种形貌 单晶原始形貌（500倍） 单晶绒面 （500倍） 多晶制绒原理 1)GrO3+HF酸 在6、7、8、9线的配液浓度： 1#槽 GrO3 1800克 HF 40升 2#、3#槽 GrO3 1200克 HF 60升 6# HCL 56升 每槽10分钟，温度20度 补液2000克GrO3+4升纯水 时间4—16秒 减薄0.35—0.40克 反应化学式为：2GrO3+Si→Gr2O3+SiO2 SiO2+HF→H2[SiF6]+2H2O 多晶绒面 多晶的形貌 太阳电池制造过程（二） 磷扩散形成p-n结 等离子体边缘腐蚀 腐蚀表面磷硅玻璃 硅片甩干 磷扩散形成p-n结 POCl3简介 　POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源 无色透明液体，具有刺激性气味。如果纯度不高则呈红黄色。 比重为1.67，熔点2℃，沸点107℃，在潮湿空气中发烟。 POCl3很容易发生水解，POCl3极易挥发。 PN结——太阳电池的心脏 扩散的目的：形成PN结 扩散装置示意图 扩散间工艺卫生 1、保持净化台面的清洁卫生 2　保持固定桨支架的清洁，及时清理滴　　　　　　　落偏磷酸。 3、当炉管不使用时，请降温到600度左右保温，可延长加热器的使用寿命。 等离子体刻蚀原理 等离子体刻蚀是采用高频辉光放电反应，使反应气体激活成活性粒子，如原子或游离基，这些活性粒子扩散到需刻蚀的部位，在那里与被刻蚀材料进行反应，形成挥发性反应物而被去除。 这种腐蚀方法也叫做干法腐蚀。 等离子体刻蚀原理 首先，母体分子CF4在高能量的电子的碰撞作用下分解成多种中性基团或离子。 其次，这些活性粒子由于扩散或者在电场作用下到达SiO2表面，并在表面上发生化学反应。 生产过程中，在CF4中掺入O2，这样有利于提高Si和SiO2的刻蚀速率。 等离子体边缘腐蚀 等离子体刻蚀反应 腐蚀表面磷硅玻璃 太阳能制造过程（三）　ＰＥＣＶＤ 等离子体：由于物质分子热运动加剧，相互间 　的碰撞就会使气体分子产生电离，这样物质就 　会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子 　和中性粒子组成的混合物。 PECVD：Microwave Remote Plasma Enhance 　Chemical Vapour Deposition 　微波间接等离子增强化学气相沉积 PECVD作用 在太阳电池表面沉积深蓝色减反膜-SiN膜。其还具有卓越的抗氧化和绝缘性能，同时具有良好的阻挡钠离子、掩蔽金属和水蒸汽扩散的能力；它的化学稳定性也很好，除氢氟酸和热磷酸能缓慢腐蚀外，其它酸与它基本不起作用。 PECVD作用 PECVD原理 太阳电池制造过程（四） 印刷背面电极 烘干 印刷铝背场 烘干 印刷正面电极 烧结* 太阳电池制造过程（五） 分类检测 包装入库 电性能测试 太阳电池性能和质量分析 ●短路电流—减反射膜、基区扩散长度、结的质 量、损伤层 ●开路电压—边缘腐蚀不够、PN结不良 ●填充因子—方块电阻、欧姆接触 太阳电池制造过程（六） ●外观检验—尺寸、重量符合设计要求，电池颜色均 匀，无色差和污