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lot compare
Sheet3
Sheet2
Lot list
STEP_CODE
DATA_AREA_ID
STEP_NAME
STEP_DESC
DIFF
Equip 1
Equip 2
Equip 3
Equip 4
Equip 5
MFG
D016_SDG_PHO_02.02;SDG_PH;MQT0002.01
QTIME-DUMMY
MAX : 0.0%
AMQT01
G:100.0%
B:100.0%
PHOTO
D016_SDG_PHO_02.02;SDG_PH;LDITO01.02
SDG PHO
MAX : 20.0%
ALDI05
G:80.0%
ALDI06
G:20.0%
D016_SDG_PHO_02.02;SDG_PH;LCDTO01.02
M ADI CD
MAX : 50.0%
ALCD08
ALCD02
ALCD09
B:50.0%
D016_SDG_PHO_02.02;SDG_PH;MMITO01.01
TO ADI(DUV)
MAX : 10.0%
AMMI05
AMMI04
G:40.0%
G:60.0%
D016_SDG_PHO_02.02;SDG_KLAP;LMG0001.01
MERGE STATION
ALMG01
D016_TOR_PHO_01.02;TOR_PH;MQT0002.01
D016_TOR_PHO_01.02;TOR_PH;LIIRE01.02
RE PHO
ALII11
ALII03
D016_TOR_PHO_01.02;TOR_PH;LOLRE01.02
M OVERLAY
ALOL04
D016_TOR_PHO_01.02;TOR_PH;MMIRE02.01
RE ADI
AMMI15
D016_TOR_PHO_01.02;TOR_KLAP;LMG0001.01
D016_NWL_PHO_03.01;NW_PH;MQT0003.01
D016_NWL_PHO_03.01;NW_PH;LIITB01.02
NWELL PHO
ALII05
D016_NWL_PHO_03.01;NW_PH;LOLTB01.02
D016_NWL_PHO_03.01;NW_PH;LCDTB01.02
D016_NWL_PHO_03.01;NW_PH;MMITB02.01
TB ADI
AMMI17
G:25.0%
G:50.0%
AMMI14
D016_NWL_PHO_03.01;NW_KLAP;LMG0001.01
D016_PWL_PHO_01.01;PW_PH;MQT0003.01
D016_PWL_PHO_01.01;PW_PH;LIIPT01.02
PWELL PHO
MAX : 100.0%
G:66.67%
G:33.33%
D016_PWL_PHO_01.01;PW_PH;LOLPT01.02
D016_PWL_PHO_01.01;PW_PH;LCDPT01.02
MAX : 75.0%
ALCD03
D016_PWL_PHO_01.01;PW_PH;MMIPT02.01
PT ADI
MAX : 80.0%
D016_PWL_PHO_01.01;PW_KLAP;LMG0001.01
D016_PO1_PHO_01.02;PO1_PH;MQT1803.01
D016_PO1_PHO_01.02;PO1_PH;LDIGT01.02
POLY1 PHO
ALDI02
D016_PO1_PHO_01.02;PO1_PH;LOLGT01.02
MAX : 60.0%
ALOL05
D016_PO1_PHO_01.02;PO1_PH;LCDGT01.02
D016_PO1_PHO_01.02;PO1_PH;MMIGT01.01
GT ADI(DUV)
D016_PO1_PHO_01.02;PO1_KLAP;MB2BGT1.02
KLA SCAN
AMMI06
AMB204
D016_PO1_PHO_01.02;PO1_KLAP;MMIREV2.01
REVIEW
MAX : N/A
AMMI01
D016_PO1_PHO_01.02;PO1_KLAP;LMG0001.01
D016_LNL_PHO_01.01;LNL_PH;LDILA01.02
LVNLDD PHO
ALDI03
ALDI12
D016_LNL_PHO_01.01;LNL_PH;LOLLA01.02
D016_LNL_PHO_01.01;LNL_PH;LCDLA01.02
ALCD04
D016_LNL_PHO_01.01;LNL_PH;MMILA01.01
LA ADI(DUV)
D016_LNL_PHO_01.01;LNL_PH;MQT0003.01
D016_LNL_PHO_01.01;LNL_KLA
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