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2017-08-22 发布于重庆
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αstep膜厚分析.doc

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αstep膜厚分析.doc

α-step膜厚分析本實驗量測薄膜厚度方法事前準備，先將立可白塗在清洗過後的試片上，再進行濺鍍，濺鍍完成後將試片放入丙酮中利用超音破震盪器震盪5分鐘，將立可白清除，形成基板與薄膜高度差，利用此高度差，可藉由膜厚量測儀器為KOSAKA ET4000M，得到薄膜厚度，其量測原理是將探針接觸試片，以機械傳動方式在試片表面由鍍膜區掃向未鍍膜區，如圖3-4所示，此時量得之高度差，即為薄膜厚度。將薄膜厚度除以濺鍍時間，即可得到鍍膜的濺鍍率。圖3-4 α-step 量測示意圖