用喷墨打印法直接形成铜导电线路图形.pdfVIP

图形转移 Imaging 用喷墨打印法 直接形成铜导电线路图形 杨小健 何 为 王守绪 杨 颖 编译 （电子科技大学应用化学系，四川 成都 610054） 胡 可 何 波 莫芸绮 编译 （珠海元盛电子股份有限公司技术中心，广州 珠海 519060） 摘 要 金属纳米粒子的喷墨打印直接形成金属导电线路，低成本、低消耗、工艺过程简单，是一个很具吸引力的 方法。虽然目前大多数的研究集中在新金属方面，如金和银，但是本实验开发出一种廉价的导电材料作为替代品，即铜 纳米粒子导电油墨。用多元醇过程制备出粒径为40 nm ~ 50 nm的铜纳米粒子，把铜离子很好的分散在低粘度的导电油墨 中。实验成功地演示了用铜导电油墨直接形成导电线路的方法。喷墨印刷形成的铜导电线路图形具有金属般的外观，并 且在热处理后具有很好的导电性。薄膜在真空中以325 ℃的温度持续1 h后，薄膜的电阻率达到17.2 µΩ·cm。 关键词 喷墨；印刷；导电图形；铜纳米粒子 中图分类号：TN41 文献标识码：A 文章编号： 1009-0096（2009）11-0028-04 Copper Conductive Patterns Direct Writing by Ink-Jet Printing YANG Xiao-jian HE Wei WANG Shou-xu YANG Ying HU Ke HE Bo MO Yun-qi Abstract Ink-jet printing of metal nanoparticles is an attractive method for direct patterning conductive metal lines owing to low-cost, low-waste and simple process. While most of the researches here focused on novel metals such as gold and silver, we have developed a conductive ink containing copper nanoparticles as an alternative that is inexpensive conductive material. Copper particles with a size of 40nm~50nm were synthesized by polyol process, from which the well-dispersed conductive ink with low viscosity was prepared. We have successfully demonstrated a direct writing of the conductive lines using Cu conductive ink. The ink-jet printed copper patterns exhibited metal- like appearance and became highly conductive upon heat treatments. The resistivity of the fi lm reached to 17.2μΩ• cm at 325 for 1h in vacuum. Key word