原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第14卷第6期 粉末冶金材料科学与工程 2009年12月
、，01．14NO．6 Materialsand ofPowder Dec．2009
Scien——e——e EngineeringMetallurgy
化学气相沉积制备粉体材料的原理及研究进展
刘志宏，张淑英，刘智勇，李玉虎，王娟
(中南大学冶金科学与工程学院，长沙410083)
摘要：采用化学气相沉积法(chemicalvapordeposition，简称CVD)不仅可以制备金属粉末，也可以制备氧化物、
碳化物、氮化物等化合物粉体材料。该法是以挥发性的金属卤化物、氢化物或有机金属化合物等物质的蒸气为原
料，通过化学气相反应合成所需粉末，冈其制备的粉末纯度高，比表面积大，结晶度高，粒径分御均匀、可控，
在粉体材料制备方面的应川日趋广泛。该文主要介绍CVD技术制粉的形成机理和研究进程。CVD法制粉主要包
括化学反应、晶核形成、粒子生长以及粒子凝并与聚结4个步骤。按照加热方式不同，CVD技术分为电阻CVD、
等离子CVD、激光CVD和火焰CVD等，用这4种技术制备超细粉末各有其优缺点，选择合适的气源，开发更
为安全、环保的生产T艺，以及加强尾气处理是使CVD法制备超细粉体材料付诸子工业应用的重要保证。
关键词：化学气相沉积；生长机理：进展
中图分类号：TFl23．2 文献标识码：A 文章编号：1673．0224(2009)6．359．06
andresearch of materials
Principle developmentpowder prepared
chemical
by vapordeposition
LIU Yu-hu，WANGJuan
Zhi—hong，ZHANGShu-ying，LIUZhi—yong，LI
(School Scienceand South
ofMetallurgicalEngineering，CentralUniversity，Changsha410083，China)
Abstract：Thechemical can not metal alsooxide，carbide
vapordeposition(CVD)techniqueprepareonly powder,but
andnitride CVDareofexcellent as surface
powders．Thepowderpreparedby advantageshighpurity，large area，
specific
andtunable size the ofCVDin
distribution，SO materials
hi曲crystallinity,uniformparticle applicationpowder synthesis
is moreandmore oftheCVD includechemical
becoming widely．Generally，theprocedures process reaction，nucleation
文档评论（0）