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微波近场技术在电子材料研究中的应用4 冯一军，吴立勇，汪凯罗，姜田 南京大学，电子科学与工程系，南京，210093 cn E—mail：yjfeng@nju．edu 摘要：利用微波近场技术可以研究材料表面电磁性质的空间分布。本文报导了 我们研制的扫描微波近场显微镜，通过建立可变温样品台，有效地扩展了微波 近场显微镜的应用范围。利用扫描微波近场显微镜我们详细研究了金属薄膜、 超导薄膜、介质、磁性材料等多种电子材料的电磁性质，给出了相关实验结 果。研究表明微波近场技术为电子材料和器件电磁性质的空间分布检测提供了 有利的手段。 1．引言 在微波频段研究电子材料的局域电磁响应，对于材料的基础理论研究和材料的应用研 究都具有重要的意义。金属和超导体的复电导率是研究材料准粒子激发和聚集电荷性质的 手段；而对绝缘体、铁电体和铁磁体介电性质的探究能够深入地了解这些材料的极化机 制、铁磁共振、反铁磁共振和自旋波共振等物理机制。从应用角度而言，局域电磁性质的 测量是集成电路晶片检测和故障诊断的基础。随着集成电路运行速度的不断提高。时钟频 率进入微波频段，研究集成电路的局域微波性质，检测并控制品片中薄膜电阻、掺杂情 形、导线中电迁移率，准确并快速地定位出电路故障区域或缺陷位置是十分重要的。另外 电磁性质的测量对设计和优化新型器件也是尤为重要的。例如超导薄膜和基片材料中的不 均匀性限制了超导电子器件的性能，仔细研究这些不均匀性对提高器件性能是十分有益 的。 近年来，国际上一些研究组开始研究微波近场技术在检测材料局域电磁性质方面的应 用，由于该技术具有非接触、非破坏性和高空间分辨率等特点，其应用前景十分看好。目 前已经出现了一些典型的微波近场探头设计，例如采用同轴线【1，2】、开槽波导【3】、和微带 microwavenear-field 线[4]的形式。我们在国内率先开展了扫描微波近场显微镜(scanning SMNFM)的研制和应用研究工作，本文将系统介绍我们在这方面的研究结 microscope，or 2．微波远场显微镜系统 微波近场显微镜系统由显微镜探头、 测试样品台、微波测量和控制系统等部分 组成。如图1所示。核心部分．显微镜探头 由一个高Q四分之一波长同轴谐振器构 成，谐振器内导体下端连接一段直径为几 百微米的铌针，并伸出谐振器底部中心的 小孔形成探头，作为探测电磁场的发射和 接收部件。铌针的针尖部分通过化学腐蚀 方法可以加工为直径几微米。与其他形式 图1微波近场显微镜系统结构示意图 的探头相比，采用高Q谐振器和这种针尖 和小孔结构，可以保证具有较高的空间分 。国家自然科学基金资助项目(N069801004) 457 辨率[2]。探头针尖通过电磁波近场与被测样品相互作用，从而改变探头谐振腔的谐振频率 ∞)和品质因数(Q)，所以通过测量矗和Q的变化，可以获得样品表面的电磁性质。根据微 扰理论[5]，五的偏移主要决定于针尖一样品距离和样品的介电性质，而Q的变化则主要决定 于样品的表面电导率。 微波近场显微镜的空间分辨率与探头周围的探测场的范围成正比，在我们的系统中， 针尖部分直径为几微米，所以系统的空间分辨率可以达到5微米以下【6】。为了研究一些电 子材料电磁性质随温度的变化(如，超导材料、铁磁材料等)，我们建立了可变温样品台 【如图1所示)，采用液氮杜瓦制冷，样品通过一个热容量较大的铜柱与液氮相通，整个 样品台置于真空腔内，与外界隔热。真空腔上端的柔性波纹管可以保证样品通过真空腔下 端的xYz移动平台相对于探头移动，完成扫描测量。 3．测量原理 目前关于微波近场显微镜的理论分析很少，主要是C．Gao提出的基于准静态模型的电 荷镜像分析法【2]。该理论只考虑探头针尖部分的作用，并将其等效为一个理想导体球，采 用谐振腔微扰理论和一阶近似，得到了探头矗的偏移和Q的变化与介质复介电常数或金属 表面电导率的关系。 虽然