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微型温差电池的研究进展 庞可可。王 为· (天津大学，天津300072) 摘要：诸如MEMS，微电子系统，甚至于系统芯片等微型化固态装置的应用日益广泛，这类装置通常需要具有低输出功 率、高输出电压的微型电源为其供电。基于薄膜热电材料制造的微型温差电池即是一种典型的可以满足上述要求的微 型电源。综观已报道的微型温差电池结构。按热传导的方向可分为两类：横向结构和纵向结构。对于横向结构，热■沿着 热电腿表面传导，而纵向结构的热■则是沿热电腿的厚度方向传导。综述了此两种结构微型温差电池的最新进展。 关键词：微型温差电池；薄膜热电材料；电池结构：研究进展 中图分类号：TM913 文献标识码：A 文章编号：1002—087 X(2012)12—1945—04 Recent inmicro—thermoelectric progress generator PANGKe-ke，WANGWei+ University,Tianjtn300072，China) (Tianjm Abstract：Miniaturizedsolid—statedevicessuchasMEMS．micro-electricaIand ona systemeven。systemchip”are of for interest of those sourceswithlow variety applications．Formicro-systems，micro-powerpower，highoutput are as onfilmthermoelectricmaterials voltagenecessary，Micro-thermoelectricMTEG)based generators(noted havebeenconsideredtobea those MTEG structures Mery modules，their promisingcandidate．Reviewingreported canbedividedintotwo totheheat structureand structure． categoriesaccording transferringdirection：parallelvertical Forthe transfersthesurfaceoffIImTE the structure，heat verticalstructure．heattransfers parallel along legs．For thethicknessofflImthermoelectricfnotedasTE recent ofthetwo along legs legs)．The developmentscategory MTEGswerereviewedinthis