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超薄超导材料特性及应用.pdf

第 37卷 增刊4 稀有金属材料与工程 Vo1.37,Supp1.4 2008年 lO月 RAREMETALMATERIAI.SANDENGINEERING October 2008 超薄超导材料特性及应用 尤立星 (中国科学院上海微系统信息与技术研究所 信息功能材料国家重点实验室,上海 200050) 摘 要 :介绍和讨论低温和高温超导超薄材料的制备及超导特性,并和普通非超薄超导材料特性相 比较 。超薄超导材 料可以用于制备超导单光子探测器 (SuperconductingSinglePhotonDetector,简称 SSPD)和超导热电子测辐射热仪 (SuperconductingHotElectronBolometer,简称 SHEB)。详细分析并讨论其应用 。 关键词:超薄超导材料:超导单光子探测器:超导热电子测辐射热仪 中图法分类号:TG146.4 文献标识码:A 文章编号:1002—185X(2008)$43·73—04 BolometricEffect) 】。利用这种对高频微弱信号的快 1 引 言 速响应效应可以制备高频信号的探测器,用于天文、 1911年,Onnes首次发现了在 4.2K水银电阻消 通信、医学和生物检测等众多领域。 失的现象,从此开启了一个全新的科学领域一超导研 制备基于热电子测辐射热效应的超导探测器件的 究。1957年,Bardeen、Cooper和 Scherieffer提出了 关键是要获得足够薄的超导材料,其厚度要小于材料的 BCS理论,对低温超导体的各种性质从微观上给出了 ElectronthermalizationlengthI。厚度越薄,其能量弛豫 一 个较为系统全面的解释 。1986年高温超导体的出 时间越短,探测器的性能 (带宽和响应速度等)将越高。 现,给超导研究和应用注入了新的活力,使得液氮温 然而这又对材料的生长/制备工艺提出了更高的要求。 区的超导应用成为可能。到 目前为止,高温超导的超 目前常用的材料为低温超导体NbN和Nb的超薄薄膜, 导机制还没有完全为人类所认识。但是超导材料包括 其厚度通常为 5am 左右 。还有一些高温超导超薄 低温和高温超导材料 已经出现了很多应用,并且在一 YBaECU307 (简称 YBCO)薄膜及器件制备的报道[34】, 些领域 已经起到了不可替代的作用。 以及超薄 MgB2薄膜 的实验结果 】。对高温超导单晶 超导应用可以分为两大类,强电应用和弱电应用。 Bi2SrzCaCu208h (简称BSCCO),通过特殊工艺减薄, 强电应用包括超导强磁体、超导磁悬浮 、超导电缆、 也可以获得超导性能非常优异的超薄单 l。本研究将 超导限流器等 。弱 电应用包括超导量子干涉器件 重点介绍低温超导 NbN 超薄薄膜 以及高温超导 (SQUID)、量子电压基准、高频微弱信号探测器、超 BSCCO超薄单晶,并讨论其主要的两类应用:超导热 导滤波器等。 电子测 辐射 热 仪 (Superconducting HotElectron 由于超导材料的能隙较小,通常是在 meV 的量 Bolometer,简称 SHEB)和超 导单光 子探测器 级,比半导体材料禁带宽度要小 2到 3个数量级。当 (Superconducting Single Photon Detector, 简称 接受到外界辐射时,如果 Cooper对接收的辐射能量高 SSPD) 于其能隙,Cooper

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