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CCD在fs激光辐照下的损伤研究.pdf
第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 !
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在 激光辐照下的损伤研究
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江继军 ! 罗 福 ! 陈建国
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四川大学电子信息学院!四川成都 $ 中国工程物理研究院流体物理研究所!四川绵阳 ##
!% @!**@#)% @)!A**
摘 要! 用脉宽为 %波长为 的 激光辐照电荷耦合器件!研究了电荷耦合器件在 激光作
@*BC D**EF BC BC
!! ! !
用下的失效问题实验得到 激光作用下电荷耦合器件的失效阈值为 H? ’ )这比 激光作用
BC #’))G!* IJF EC
下电荷耦合器件的损伤阈值低 个量级对该器件进行显微观测!在光敏元上没有发现损伤!但在器件的
) ?
!
栅极上发现了明显的激光引起的损伤痕迹
关键词! 激光$电荷耦合器件 #$失效阈值
BC 997
!! !
中图分类号! $ 文献标识码!
8()#A 8K!! 5
!! ! ! !!!! !
电荷耦合器件 #是一种固体成像器件作为图像传感器的关键部件!由于它具有体积小!重量轻!灵
997
!!
( )
敏度与分辨率高!功耗与成本低等特点!因而广泛应用于监控%测量和识别等领域 ! 国内外对997在激光辐
照下的损伤效应做了许多工作 以前实验中使用的激光光源多为连续激光或是脉宽大于亚 的脉冲激
EC
( )
) D
光 ! !对于 激光辐照下
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