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高功率太赫兹量子级联激光器研究
刘峰奇 刘俊岐 陈剑燕 王涛 王利军 梁平 胡颖 王占国
中国科学院半导体研究所,半导体材料科学重点实验室
摘要:量子级联激光器(QuantumCascadeLaser,简称QCL)是一种利用半导体耦合量子阱子带间电
子跃迁而产生激光的单极性半导体激光器,其工作波长可从中红外到太赫兹波段大范围调节。该报告
以中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室在太赫兹QCL(简称THz-QCL)方面的研究进
展作为实例,简要介绍QCL相关的物理过程、设计思路、材料生长所涉及的关键因素、器件研制和测
试表征。中科院半导体所在2006年设计、研制出太赫兹QCLs功能材料 (外延样品号G355、G374、G394
等)。在解决了器件工艺、测试表征方面的部分问题后,研制出工作频率覆盖2.95-3.2THz的一系列
THz-QCLs。目前,研制的THz-QCL在10K下的输出功率超过123mW、处于国际顶级行列。
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